上海伯東代理德國 ph-instruments Dositorr SRG 高真空傳感器是一種基于旋轉轉子壓力表技術的新型過程壓力計. 與其他真空測量（熱陰極或冷陰極, 電容式壓力傳感器）相比, Dositorr SRG 旋轉轉子壓力表精度高, 耐腐蝕, 長期穩定, 不影響以任何方式測量的壓力信號（無溫度輸入 / 電離 / 采集 / 漂移等）. 簡單的幾何形狀和不銹鋼旋轉球, 通過電磁力平滑移動, 適用于各種高純度氣體工藝.
Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計技術規格
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測量原理 |
旋轉轉子技術 |
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測量范圍 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %; |
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長期穩定性 |
每年漂移 < 1.5% |
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接液材料管/球 |
不銹鋼 |
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安裝方式 |
水平 |
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模擬接口 |
USB Type C, 藍牙, 15pin |
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數字接口 |
USB, 藍牙, RS 232, RS 485 |
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反應時間（快速模式） |
1 秒 |
上海伯東德國 ph-instruments Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計適用于工藝中的連續, 自動, 高真空測量, 并提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr: 傳感器, 測量頭和電子設備集成在一個緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測量頭可以與真空規分離用于烘烤
DosiTorr 擴展: 測量頭和電子設備分離, 便于在空間受限的設備中安裝
DosiTorr 配置: 設計用于 1:1 離子規更換配置電接口(即插即用解決方案)
Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計應用
替代離子規: 傳統電離式的真空規無法使用的情況
離子注入, 干法刻蝕
在線真空監測
液氮, 液氦高純氣體存儲
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