先進(jìn)真空工藝測量難點(diǎn): 在嚴(yán)苛的先進(jìn)真空工藝中, 通常會使用具有一定腐蝕性的氣體, 比如 BFз, PH3, 氣態(tài)有機(jī)溶劑等, 使用傳統(tǒng)熱陰極離子規(guī), 真空狀態(tài)下, 熱陰極離子規(guī)通過加熱燈絲發(fā)射電子, 熱陰極離子規(guī)內(nèi)部燈絲加熱過程與氣體反應(yīng)產(chǎn)生帶電粒子, 不僅僅快速污染沉積在離子規(guī)上, 使離子規(guī)幾周就會污染損壞, 這些帶電粒子最終還會沉積在分子泵和晶圓表面, 造成更大的損失.

使用傳統(tǒng)冷陰極離子規(guī), 雖然沒有熱發(fā)射的燈絲, 但是氣體電離依賴強(qiáng)磁場, 對于某些敏感性測試有很大影響. 陽極棒也容易因電離直接碳化, 需要頻繁的更換.嚴(yán)重影響工藝進(jìn)程.
SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用優(yōu)勢
* 上圖 被污染的離子規(guī)

并且離子規(guī)因自身特性, 測量時間越長, 越會改變直連腔體的真空度, 導(dǎo)致測試不準(zhǔn)確
SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用優(yōu)勢
* HC on: 熱陰極真空規(guī)打開
* HC off: 熱陰極真空規(guī)關(guān)閉
* CC on: 冷陰極真空規(guī)打開

使用上海伯東 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)優(yōu)勢一：無燈絲,  磁屏蔽設(shè)計(jì), 無內(nèi)在污染源. 耐腐蝕和沉積, 對工藝無任何影響
離子規(guī)會發(fā)熱,導(dǎo)致加熱真空腔體并出現(xiàn)離子逃逸, 污染真空腔體, SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)無燈絲, 磁屏蔽設(shè)計(jì), 在真空腔體中無任何電子設(shè)備, 無饋通, 采用機(jī)械測量的原理, 全金屬材質(zhì), 耐高溫, 超潔凈, 確保耐腐蝕和沉積, 不會出現(xiàn)任何的二次污染.

SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用優(yōu)勢

使用 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)優(yōu)勢二: 寬泛的高真空測量范圍, 高精度, 免維護(hù), 無需校準(zhǔn), 長期穩(wěn)定
傳統(tǒng)離子規(guī), 易損壞, 使用幾周就需要清潔或更換燈絲, 漂移顯著, 需要定期的校準(zhǔn).
SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)免維護(hù), 無需校準(zhǔn)(讀數(shù)隨時間漂移 <1% 每年), 不受氣體種類的影響.可長期使用.

技術(shù)指標(biāo)

DosiTorr SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)

傳統(tǒng)離子規(guī)(冷陰極離子規(guī)或熱陰極離子規(guī))

測量精度

±1% (0.1-10?? mbar)

±10-20%

長期穩(wěn)定性

<1%

>5%

耐腐蝕性

316L不銹鋼(1.4404), 耐腐蝕, 無二次污染風(fēng)險

鎢絲

維護(hù)周期

磁懸浮設(shè)計(jì)（免維護(hù)）

幾周維護(hù)

SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用優(yōu)勢
 *上圖: 測量數(shù)據(jù)與真實(shí)真空度的對比

使用 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)優(yōu)勢三: 耐高溫, 集成溫度傳感器自動溫度調(diào)節(jié)
上海伯東德國 ph-instruments SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì), 提供烘烤溫度 450°C 型號和各種可擴(kuò)展的型號, 滿足高溫真空應(yīng)用.
SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用優(yōu)勢

綜上所述, 上海伯東 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)在嚴(yán)苛的先進(jìn)真空工藝測量中, 提供可持續(xù), 可靠并且長期穩(wěn)定, 沒有內(nèi)在污染源的真空測量方案!
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更新 : 2026-01-06

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