先進真空工藝測量難點: 在嚴苛的先進真空工藝中, 通常會使用具有一定腐蝕性的氣體, 比如 BFз, PH3, 氣態有機溶劑等, 使用傳統熱陰極離子規, 真空狀態下, 熱陰極離子規通過加熱燈絲發射電子, 熱陰極離子規內部燈絲加熱過程與氣體反應產生帶電粒子, 不僅僅快速污染沉積在離子規上, 使離子規幾周就會污染損壞, 這些帶電粒子最終還會沉積在分子泵和晶圓表面, 造成更大的損失.

使用傳統冷陰極離子規, 雖然沒有熱發射的燈絲, 但是氣體電離依賴強磁場, 對于某些敏感性測試有很大影響. 陽極棒也容易因電離直接碳化, 需要頻繁的更換.嚴重影響工藝進程.
SRG 磁懸浮轉子真空計應用優勢
* 上圖 被污染的離子規

并且離子規因自身特性, 測量時間越長, 越會改變直連腔體的真空度, 導致測試不準確
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* HC on: 熱陰極真空規打開
* HC off: 熱陰極真空規關閉
* CC on: 冷陰極真空規打開

使用上海伯東 SRG 磁懸浮轉子真空計優勢一：無燈絲,  磁屏蔽設計, 無內在污染源. 耐腐蝕和沉積, 對工藝無任何影響
離子規會發熱,導致加熱真空腔體并出現離子逃逸, 污染真空腔體, SRG 磁懸浮轉子真空計無燈絲, 磁屏蔽設計, 在真空腔體中無任何電子設備, 無饋通, 采用機械測量的原理, 全金屬材質, 耐高溫, 超潔凈, 確保耐腐蝕和沉積, 不會出現任何的二次污染.

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使用 SRG 磁懸浮轉子真空計優勢二: 寬泛的高真空測量范圍, 高精度, 免維護, 無需校準, 長期穩定
傳統離子規, 易損壞, 使用幾周就需要清潔或更換燈絲, 漂移顯著, 需要定期的校準.
SRG 磁懸浮轉子真空計免維護, 無需校準(讀數隨時間漂移 <1% 每年), 不受氣體種類的影響.可長期使用.

技術指標

DosiTorr SRG 磁懸浮轉子真空計

傳統離子規(冷陰極離子規或熱陰極離子規)

測量精度

±1% (0.1-10?? mbar)

±10-20%

長期穩定性

<1%

>5%

耐腐蝕性

316L不銹鋼(1.4404), 耐腐蝕, 無二次污染風險

鎢絲

維護周期

磁懸浮設計（免維護）

幾周維護

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 *上圖: 測量數據與真實真空度的對比

使用 SRG 磁懸浮轉子真空計優勢三: 耐高溫, 集成溫度傳感器自動溫度調節
上海伯東德國 ph-instruments SRG 磁懸浮轉子真空計, 提供烘烤溫度 450°C 型號和各種可擴展的型號, 滿足高溫真空應用.
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綜上所述, 上海伯東 SRG 磁懸浮轉子真空計在嚴苛的先進真空工藝測量中, 提供可持續, 可靠并且長期穩定, 沒有內在污染源的真空測量方案!
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上海伯東: 葉小姐                                  臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
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更新 : 2026-01-06

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