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ph-instruments 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計 主要型號
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參數(shù) |
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參考圖片 |
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特點 |
多配置可選,方便 OEM 集成 |
配置顯示器, 內(nèi)置鋰電池 |
計量級 |
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測量范圍 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %； |
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長期穩(wěn)定性 |
< 每年 1 .5 % 的漂移 |
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模擬接口 |
USB Type, 15pin,定制 |
USB Type C, 15pin |
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數(shù)字接口 |
USB,RS232(維護),RS 485 |
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模擬輸出 |
0 - 10 VDC 可配置 |
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電源要求 |
18 至 28 VDC |
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產(chǎn)品分類
相關產(chǎn)品應用案例
耐腐蝕和沉積, 無燈絲設計, 替代傳統(tǒng)的離子規(guī)(冷陰極離子規(guī)或熱陰極離子規(guī))
SRG 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計, 耐腐蝕, 無燈絲設計, 沒有內(nèi)在的污染源, 不會造成二次電離污染沉積. 完全替代離子規(guī), 提供可靠的, 長期穩(wěn)定的壓力測試, 更適合高污染的嚴苛工藝環(huán)境.
SRG 磁懸浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計可以在玻璃管內(nèi)工作, 因此可以將帶有球的玻璃管焊接到玻璃真空室, 在制造過程中測量真空度.可用于光伏行業(yè)的維護, 制造和測試, 且方便拆卸
SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計精度高, 長期穩(wěn)定, 不影響以任何方式測量的壓力信號（無溫度輸入 / 電離 / 采集 / 漂移等）, 適用于半導體, 低溫真空絕熱, 高精度真空計校準系統(tǒng).
VIM-2 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計應用于真空絕緣監(jiān)測, 測量和監(jiān)控真空絕緣泄漏的壓力值, 長期穩(wěn)定
可以替代離子規(guī) MKS 903 AP,MKS GP 390,MKS GP 355,MKS GP 354, Inficon HPG400,Inficon MPG400 等型號
SRG 磁懸浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計在鍍膜行業(yè)（如光學鍍膜, 硬質(zhì)鍍膜）中, 其穩(wěn)定的真空測量可確保膜層厚度均勻性, 減少批次間差異, 提升鍍膜產(chǎn)品光學性能與耐用性.
從1976年第一代旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計原型機的問世至今, 磁懸浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子技術(shù)歷經(jīng)半個世紀的發(fā)展迭代
在半導體離子注入工藝中, SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計零失誤, 零偏差, 精準測量
作為標準真空壓力源, SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計廣泛應用于各品牌的高精度真空壓力校準系統(tǒng)
SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計, 耐腐蝕, 無污染, 對沉積不敏感. 可替代離子注入工藝中的離子規(guī), 解決常規(guī)離子規(guī)經(jīng)常失效, 信號漂移等問題.
磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計具有長期的堅固性, 高度準確和穩(wěn)定的壓力讀數(shù), 耐腐蝕和沉積, 即使在腐蝕工藝中, 其他儀表可能會漂移和失效, SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計無影響.
SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計測量原理,穩(wěn)定測量優(yōu)勢,固有的抗污染性和堅固設計,高精度和長期穩(wěn)定性
SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子是一種高精度且穩(wěn)定的真空測量技術(shù), 核心感測組件是一個小型磁懸浮的鋼球, 透過管件連接到真空系統(tǒng)內(nèi)
