SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)不僅僅定位為傳統(tǒng)真空計(jì)的替代品, 而是作為確保先進(jìn)制造制程中計(jì)量完整性的基礎(chǔ)技術(shù). 透過提供高度準(zhǔn)確和穩(wěn)定的測量, SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)更嚴(yán)格的制程控制, 減少變異性, 提高半導(dǎo)體制造,  鍍膜, 顯示面板, 光伏等高精密應(yīng)用中的良率和產(chǎn)品質(zhì)量.

* ph-instruments 可以替代離子規(guī) MKS 903 AP, MKS GP 390, MKS GP 355, Inficon HPG400,  Inficon MPG400 等型號.

SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)


ph-instruments 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì) 主要型號

參數(shù)

Dositorr SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)

VIM-2 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)

ION Check 真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)

參考圖片

Dositorr SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)

VIM-2 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)

SRG 計(jì)量級真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)

特點(diǎn)

多配置可選,方便 OEM 集成

配置顯示器, 內(nèi)置鋰電池

計(jì)量級

測量范圍

7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar)

精度

7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %;
0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數(shù)的 1 %

長期穩(wěn)定性

< 每年 1 % 的漂移

模擬接口

USB Type, 15pin,定制

USB Type C, 15pin

 

數(shù)字接口

USB,RS232(維護(hù)),RS 485

 

模擬輸出

0 - 10 VDC 可配置

 

電源要求

18 至 28 VDC

 

 

產(chǎn)品分類

相關(guān)產(chǎn)品應(yīng)用案例

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SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)原理和特點(diǎn)(耐腐蝕,高精度,長期穩(wěn)定)

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子是一種高精度且穩(wěn)定的真空測量技術(shù), 核心感測組件是一個(gè)小型磁懸浮的鋼球, 透過管件連接到真空系統(tǒng)內(nèi)

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VIM-2 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用于真空絕緣監(jiān)測

VIM-2 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用于真空絕緣監(jiān)測, 測量和監(jiān)控真空絕緣泄漏的壓力值, 長期穩(wěn)定

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上海伯東 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)適用于半導(dǎo)體工藝中的精確真空監(jiān)測

在半導(dǎo)體離子注入工藝中, SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)零失誤, 零偏差, 精準(zhǔn)測量

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ph-instruments SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)可替代 MKS, INFICON 離子規(guī)

可以替代離子規(guī) MKS 903 AP,MKS GP 390,MKS GP 355,MKS GP 354, Inficon HPG400,Inficon MPG400 等型號

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SRG 磁懸浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)在光伏行業(yè) Solar Collectors 中的應(yīng)用優(yōu)勢

SRG 磁懸浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)可以在玻璃管內(nèi)工作, 因此可以將帶有球的玻璃管焊接到玻璃真空室, 在制造過程中測量真空度.可用于光伏行業(yè)的維護(hù), 制造和測試, 且方便拆卸

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SRG 磁懸浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)在眼科涂層 Opthalmic Coating 中的應(yīng)用優(yōu)勢

SRG 磁懸浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)在鍍膜行業(yè)(如光學(xué)鍍膜, 硬質(zhì)鍍膜)中, 其穩(wěn)定的真空測量可確保膜層厚度均勻性, 減少批次間差異, 提升鍍膜產(chǎn)品光學(xué)性能與耐用性.

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SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用于顯示面板腔體測量

磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)具有長期的堅(jiān)固性, 高度準(zhǔn)確和穩(wěn)定的壓力讀數(shù), 耐腐蝕和沉積, 即使在腐蝕工藝中, 其他儀表可能會漂移和失效, SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)無影響.

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ph-instruments Dositorr SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)離子注入應(yīng)用

SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì), 耐腐蝕, 無污染, 對沉積不敏感. 可替代離子注入工藝中的離子規(guī), 解決常規(guī)離子規(guī)經(jīng)常失效, 信號漂移等問題.

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SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空規(guī)與離子規(guī)對比

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)精度高, 長期穩(wěn)定, 不影響以任何方式測量的壓力信號(無溫度輸入 / 電離 / 采集 / 漂移等), 適用于半導(dǎo)體, 低溫真空絕熱, 高精度真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng).

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SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)測量原理

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)測量原理,穩(wěn)定測量優(yōu)勢,固有的抗污染性和堅(jiān)固設(shè)計(jì),高精度和長期穩(wěn)定性

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SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)替代離子規(guī)適用于腐蝕和沉積環(huán)境

SRG 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì), 耐腐蝕, 無燈絲設(shè)計(jì), 沒有內(nèi)在的污染源, 不會造成二次電離污染沉積. 完全替代離子規(guī), 提供可靠的, 長期穩(wěn)定的壓力測試, 更適合高污染的嚴(yán)苛工藝環(huán)境.

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SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用優(yōu)勢

耐腐蝕和沉積, 無燈絲設(shè)計(jì), 替代傳統(tǒng)的離子規(guī)(冷陰極離子規(guī)或熱陰極離子規(guī))