序號(hào)

SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)特點(diǎn)

SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用優(yōu)勢(shì)

1

不需要打開(kāi)密封的真空室

1. 更便捷的密封真空系統(tǒng)監(jiān)測(cè)方案
2. 易于與現(xiàn)成接口連接

2

無(wú)電氣貫穿件

腔室保持密封

3

電磁/機(jī)械測(cè)量

1. 不會(huì)影響腔體壓力或改變氣體成分
2. 對(duì)工藝制程和溫度條件不敏感

4

全金屬傳感器（置于金屬或玻璃管內(nèi)）

1. 長(zhǎng)期穩(wěn)定的非接觸式測(cè)量
2. 直接真空測(cè)量保證高精度和高準(zhǔn)確度
3. 無(wú)易損或更換部件
4. 在運(yùn)輸前, 玻璃傳感器管可拆卸

5

可拆卸式傳感器頭/顯示裝置

1. 電子元器件受到保護(hù)
2. 可根據(jù)需求選型并測(cè)量和安裝
3. 一個(gè)磁頭可連接多個(gè)傳感器
4. 磁頭通用, 適用于所有傳感器

6

極高的內(nèi)在準(zhǔn)確性和重復(fù)性
精度: 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %;
0.01 mbar 至 1 x 10^-6 mbar 讀數(shù)的 1 %
長(zhǎng)期穩(wěn)定性: < 每年 1 % 的漂移

1. 無(wú)需校準(zhǔn)：對(duì)于大多數(shù)應(yīng)用而言, 其內(nèi)在精度±1% 已足夠精確
2. 具有多年的長(zhǎng)期穩(wěn)定性

7

電子元器件不參與測(cè)量

耐腐蝕, 抗輻射（紫外線, ……）

8

一鍵式操作

無(wú)需特殊培訓(xùn)或?qū)I(yè)人員指導(dǎo)

9

保護(hù)蓋和磁鐵, 用于存儲(chǔ)

測(cè)量球體不會(huì)出現(xiàn)破裂情況, 球體表面也不會(huì)受損

10

電腦遠(yuǎn)程控制

簡(jiǎn)單易操作

11

可維護(hù)的不銹鋼傳感器

不銹鋼傳感器清潔和重新組裝都非常方便快捷

12

通過(guò) RS-485 接口實(shí)現(xiàn)單個(gè)測(cè)量系統(tǒng)連接多個(gè)設(shè)備單元

同時(shí)對(duì)多個(gè)真空室進(jìn)行監(jiān)測(cè)