上海伯東德國 ph-instruments SRG 磁懸浮轉子真空計 DosiTorr Extend, 測量頭和電子設備分離設計, 耐腐蝕, 抗輻射（紫外線, ……）以及耐高溫, 無需打開密封的真空腔體, 更便捷的真空系統監測方案, 適用于 OEM 集成.
SRG 磁懸浮轉子真空計基本規格
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測量原理 |
SRG 旋轉轉子技術 |
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測量范圍 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %; |
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長期穩定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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接液材料管/球 |
不銹鋼 |
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安裝方式 |
水平 |
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模擬接口 |
USB Type C, 藍牙, 15pin |
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數字接口 |
USB, 藍牙, RS 232, RS 485 |
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反應時間（快速模式） |
1 秒 |
上海伯東 SRG 磁懸浮轉子真空計是一種基于旋轉轉子壓力表技術的新型過程壓力計. 與其他真空測量（熱陰極或冷陰極, 電容式壓力傳感器）相比, SRG 磁懸浮轉子真空計精度高, 耐腐蝕, 長期穩定, 不影響以任何方式測量的壓力信號（無溫度輸入 / 電離 / 采集 / 漂移等）. 簡單的幾何形狀和不銹鋼旋轉球, 通過電磁力平滑移動, 適用于各種高純度氣體工藝.
SRG 磁懸浮轉子真空計適用于工藝中的連續, 自動, 高真空測量, 并提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr: 傳感器, 測量頭和電子設備集成在一個緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測量頭可以與真空規分離用于烘烤
DosiTorr 擴展: 測量頭和電子設備分離, 便于在空間受限的設備中安裝
DosiTorr 配置: 設計用于 1:1 離子規更換配置電接口(即插即用解決方案)
SRG 磁懸浮轉子真空計應用
替代離子規: 傳統電離式的真空規無法使用的情況
離子注入, 干法刻蝕
在線真空監測
液氮, 液氦高純氣體存儲
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