序號

SRG 磁懸浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計特點

SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計應用優(yōu)勢

1

測量頭與昂貴的電子元件分離設(shè)計

1. 無需打開密封的真空腔體
2. 更便捷的真空系統(tǒng)監(jiān)測方案
3. 易于與現(xiàn)成接口連接

2

無電氣貫穿件

腔體可以高溫密封加熱

3

電磁/機械測量

1. 不會影響腔體壓力或改變氣體成分
2. 對工藝制程和溫度條件不敏感

4

金屬傳感器球（置于金屬或玻璃管內(nèi)）

1. 長期穩(wěn)定的非接觸式測量
2. 直接真空測量保證高精度和高準確度
3. 無易損或更換部件
4. 非常清潔且無菌
5. 可焊接的傳感器解決方案

5

可拆卸式傳感器頭/顯示裝置

1. 電子元器件受到保護
2. 可根據(jù)需求選型并測量和安裝
3. 一個磁頭可連接多個傳感器
4. 磁頭通用, 適用于所有傳感器

6

極高的內(nèi)在準確性和重復性
精度: 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %;
0.01 mbar 至 1 x 10^-6 mbar 讀數(shù)的 1 %
長期穩(wěn)定性: < 每年 1.5 % 的漂移

1. 無需校準：對于大多數(shù)應用而言, 其內(nèi)在精度±1% 已足夠精確
2. 具有多年的長期穩(wěn)定性

7

電子元器件不參與測量

耐腐蝕, 抗輻射（紫外線, ……）以及耐高溫

8

一鍵式操作

無需特殊培訓或?qū)I(yè)人員指導

9

保護蓋和磁鐵, 用于存儲

測量球體不會出現(xiàn)破裂情況, 球體表面也不會受損

10

電腦遠程控制

簡單易操作

11

可維護的不銹鋼傳感器

不銹鋼傳感器清潔和重新組裝都非常方便快捷

12

通過 RS-485 接口實現(xiàn)單個測量系統(tǒng)連接多個設(shè)備單元

同時對多個真空室進行監(jiān)測