SRG 磁懸浮轉子規的特點
1. 磁懸浮轉子規內部沒有電子, 離子, 熱和輻射產生, 測量時改變氣體成分和壓力, 吸放氣現象可以忽略, 無抽氣效應, 具有測量準確度高, 線性好, 重復性和長期穩定性好, 結構簡單等優點, 可以用于單一氣體和已知濃度比例的混合氣體的測量.
PS: 與傳統熱陰極或冷陰極的離子規對比, 離子規會發熱, 導致加熱真空腔體并出現離子逃逸, 污染真空腔體, 上海伯東 SRG 磁懸浮轉子真空計無燈絲, 磁屏蔽設計, 在真空腔體中無任何電子設備, 無饋通, 采用機械測量的原理, 全金屬材質, 耐高溫, 超潔凈, 確保耐腐蝕和沉積, 不會出現任何的二次污染.
2. 磁懸浮轉子真空計具有高精度和快速響應的特點. 由于轉子懸浮在真空腔內, 減少了氣體分子與轉子之間的碰撞, 從而減小了測量誤差. 同時, 磁懸浮系統可以快速調節轉子的懸浮高度, 使得測量響應速度更快.
3. 除了高精度和快速響應外, 磁懸浮轉子真空計還具有較寬的測量范圍和良好的穩定性.磁懸浮系統的穩定性較高, 可以長時間保持轉子的懸浮狀態, 提高了測量的可靠性.
PS: 傳統離子規, 易損壞, 使用幾周就需要清潔或更換燈絲, 漂移顯著, 需要定期的校準.
SRG 磁懸浮轉子真空計免維護, 無需校準(讀數隨時間漂移 <1% 每年), 不受氣體種類的影響.可長期使用.
上海伯東代理德國 ph-instruments SRG 磁懸浮轉子真空計, 耐腐蝕和沉積, 無燈絲設計, 替代傳統的離子規 (冷陰極離子規或熱陰極離子規), 適用于半導體, 鍍膜, 顯示面板, 光伏等先進真空工藝中, 提供可持續, 可靠并且長期穩定, 沒有內在污染源的真空測量方案!
上海伯東 SRG 旋轉轉子真空計不僅僅定位為傳統真空計的替代品, 而是作為確保先進制造制程中計量完整性的基礎技術. 透過提供高度準確和穩定的測量, SRG 旋轉轉子真空計能夠實現更嚴格的制程控制, 減少變異性, 提高半導體制造, 鍍膜, 顯示面板, 光伏等高精密應用中的良率和產品質量.
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