磁懸浮轉子規的測量原理: SRG 旋轉轉子真空計是一種高精度且穩定的真空測量技術, 核心感測組件是一個小型磁懸浮的鋼球, 透過管件連接到真空系統內. 在測量周期中, 這個球由一個可分離的驅動組件加速到精確定義的轉速 (每秒數百轉).

一旦達到所需速度, 驅動線圈斷電, 讓球自由旋轉, 周圍氣體分子對球體表面施加的壓力 (分子阻力) 會使其減速. 擷取線圈測量這個減速速率, 計算精確壓力. 壓力較高時, 較高的氣體密度導致較大的分子阻力, 減速較快; 而較低的壓力導致阻力減小, 減速時間較長. 壓力與鋼球旋轉之減速率成正比.

P = Constant * D
P: 壓力; Constant: 常數, 與鋼球半徑相關; D: 鋼球旋轉減速率
SRG 磁懸浮轉子規原理和特點

 

SRG 磁懸浮轉子規的特點
1. 磁懸浮轉子規內部沒有電子, 離子, 熱和輻射產生, 測量時改變氣體成分和壓力, 吸放氣現象可以忽略, 無抽氣效應, 具有測量準確度高, 線性好, 重復性和長期穩定性好, 結構簡單等優點, 可以用于單一氣體和已知濃度比例的混合氣體的測量.

PS: 與傳統熱陰極或冷陰極的離子規對比, 離子規會發熱, 導致加熱真空腔體并出現離子逃逸, 污染真空腔體, 上海伯東 SRG 磁懸浮轉子真空計無燈絲, 磁屏蔽設計, 在真空腔體中無任何電子設備, 無饋通, 采用機械測量的原理, 全金屬材質, 耐高溫, 超潔凈, 確保耐腐蝕和沉積, 不會出現任何的二次污染.
SRG 磁懸浮轉子規原理和特點

2. 磁懸浮轉子真空計具有高精度和快速響應的特點. 由于轉子懸浮在真空腔內, 減少了氣體分子與轉子之間的碰撞, 從而減小了測量誤差. 同時, 磁懸浮系統可以快速調節轉子的懸浮高度, 使得測量響應速度更快.

3. 除了高精度和快速響應外, 磁懸浮轉子真空計還具有較寬的測量范圍和良好的穩定性.磁懸浮系統的穩定性較高, 可以長時間保持轉子的懸浮狀態, 提高了測量的可靠性.


PS: 傳統離子規, 易損壞, 使用幾周就需要清潔或更換燈絲, 漂移顯著, 需要定期的校準.
SRG 磁懸浮轉子真空計免維護, 無需校準(讀數隨時間漂移 <1% 每年), 不受氣體種類的影響.可長期使用.
SRG 磁懸浮轉子規原理和特點


上海伯東代理德國 ph-instruments SRG 磁懸浮轉子真空計, 耐腐蝕和沉積, 無燈絲設計, 替代傳統的離子規 (冷陰極離子規或熱陰極離子規), 適用于半導體, 鍍膜, 顯示面板, 光伏等先進真空工藝中, 提供可持續, 可靠并且長期穩定, 沒有內在污染源的真空測量方案!

SRG 磁懸浮轉子規原理和特點

 

上海伯東 SRG 旋轉轉子真空計不僅僅定位為傳統真空計的替代品, 而是作為確保先進制造制程中計量完整性的基礎技術. 透過提供高度準確和穩定的測量,  SRG 旋轉轉子真空計能夠實現更嚴格的制程控制, 減少變異性, 提高半導體制造,  鍍膜, 顯示面板, 光伏等高精密應用中的良率和產品質量.

若您需要進一步的了解 SRG 磁懸浮轉子規, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐                                  臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958

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SRG 磁懸浮轉子規原理和特點(耐腐蝕,高精度,長期穩定)

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更新 : 2026-05-28

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