SRG 旋轉轉子真空計不僅僅定位為傳統真空計的替代品, 而是作為確保先進制造制程中計量完整性的基礎技術. 透過提供高度準確和穩定的測量,  SRG 旋轉轉子真空計能夠實現更嚴格的制程控制, 減少變異性, 提高半導體制造,  鍍膜, 顯示面板, 光伏, 科研等高精密應用中的良率和產品質量.

ph-instruments  Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計優勢
自主: 物理測量方式, 不需要電離等過程
高精度測量
長期穩定
超清潔
全金屬設計, 堅固, 耐腐蝕
高真空測量
數字接口, 多型號可選
可替代離子規

Dositorr SRG 旋轉轉子真空計應用: 在線真空監測
替代離子規: 傳統電離式的真空規無法使用的情況
離子注入, 干法刻蝕
低溫真空絕熱:液氮, 液氦高純氣體存儲
計量級的高精度真空計校準系統.
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主要型號

技術參數

Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計技術規格
 

型號

Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計

DosiTorr Extend
測量頭和電子設備分離設計

VIM-2 磁懸浮轉子真空計

參考圖片

Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計

DosiTorr Extend 測量頭和電子設備分離設計的磁懸浮轉子真空計

VIM-2 磁懸浮轉子真空計

特點

多配置可選,方便 OEM 集成

可拆卸: 測量頭和電子設備分離設計

配置顯示器, 內置鋰電池

測量范圍

7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar)

精度

7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %;
0.07 Torr
至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數的 1 %

長期穩定性

< 每年 1 % 的漂移

模擬接口

USB Type, 15pin,定制

USB Type C, 15pin

數字接口

USB,RS232(維護),RS 485

模擬輸出

0 - 10 VDC 可配置


上海伯東德國 ph-instruments  Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計適用于工藝中的連續, 自動, 高真空測量, 并提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr: 
傳感器, 測量頭和電子設備集成在一個緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測量頭可以與真空規分離用于烘烤
DosiTorr 擴展: 測量頭和電子設備分離, 便于在空間受限的設備中安裝
DosiTorr 配置: 設計用于 1:1 離子規更換配置電接口(即插即用解決方案)
SRG 磁懸浮轉子真空計
 

若您需要進一步的了解 SRG 磁懸浮轉子真空計, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐                                     臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 101             T: +886-3-567-9508 ext 161
M: +86 1391-883-7267                          M: +886-939-653-958
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