Dositorr SRG 旋轉轉子真空計應用: 在線真空監測
替代離子規: 傳統電離式的真空規無法使用的情況
離子注入, 干法刻蝕
低溫真空絕熱:液氮, 液氦高純氣體存儲
計量級的高精度真空計校準系統.
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主要型號
技術參數
Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計技術規格
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型號 |
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參考圖片 |
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特點 |
多配置可選,方便 OEM 集成 |
可拆卸: 測量頭和電子設備分離設計 |
配置顯示器, 內置鋰電池 |
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測量范圍 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %; |
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長期穩定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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模擬接口 |
USB Type, 15pin,定制 |
USB Type C, 15pin |
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數字接口 |
USB,RS232(維護),RS 485 |
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模擬輸出 |
0 - 10 VDC 可配置 |
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上海伯東德國 ph-instruments Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計適用于工藝中的連續, 自動, 高真空測量, 并提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr: 傳感器, 測量頭和電子設備集成在一個緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測量頭可以與真空規分離用于烘烤
DosiTorr 擴展: 測量頭和電子設備分離, 便于在空間受限的設備中安裝
DosiTorr 配置: 設計用于 1:1 離子規更換配置電接口(即插即用解決方案)
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上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
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