客戶配置 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)的高精度真空壓力校準(zhǔn)系統(tǒng)適用于研究和開(kāi)發(fā), 生產(chǎn)制造, 汽車(chē)工業(yè), 工業(yè)安全, 石油化工, 造紙, 電力等各科研領(lǐng)域以及工業(yè)領(lǐng)域的精密控制過(guò)程.
上海伯東 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)在真空壓力校準(zhǔn)系統(tǒng)中的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
一 、固有的抗污染性和堅(jiān)固設(shè)計(jì): 德國(guó) PH-Instruments 超過(guò)20年設(shè)計(jì)制造 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)經(jīng)驗(yàn), 推出全金屬傳感器設(shè)計(jì)以及真空內(nèi)部沒(méi)有電氣穿透件的磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì), 對(duì)機(jī)械應(yīng)力和腐蝕性氣體具有獨(dú)特的抵抗力, 堅(jiān)固的設(shè)計(jì)使其比燈絲型離子規(guī)或精細(xì)膜片電容規(guī)對(duì)比, 顯著不易受污染.
二、高精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性: SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)以其高精度而聞名, 表現(xiàn)出卓越的長(zhǎng)期穩(wěn)定性, 一些報(bào)告顯示校準(zhǔn)系數(shù)在 20年內(nèi)變化小于 0.2%. 下圖為初期使用離子真空計(jì) Ion gauge 受到制程氣體影響, 壓力值失真明顯飄移不穩(wěn)定; 替換為 SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì) 后, 穩(wěn)定測(cè)量制程真空壓力.
三、計(jì)量和校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)「NIST可追溯性」: 幾十年來(lái), SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)一直被計(jì)量和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室信賴為真空校準(zhǔn)的精密傳遞標(biāo)準(zhǔn). 它們提供 NIST 可追溯性, 確保關(guān)鍵應(yīng)用所需的測(cè)量一致性和可靠性. 這種能力使其可以在制程腔體中進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)使用, 以確保高真空計(jì)讀數(shù)的準(zhǔn)確性和制程機(jī)臺(tái)之間的一致性, 從而實(shí)現(xiàn)可重復(fù)的制程結(jié)果與高稼動(dòng)率.
上海伯東 SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)具有「NIST可追溯性」, 表示其在計(jì)量校正上的優(yōu)越性. 如果 SRG 足夠準(zhǔn)確和穩(wěn)定以校準(zhǔn)其他高真空計(jì), 那么它本身就具備了更苛刻的直接制程測(cè)量所需的質(zhì)量.
四、兼容性強(qiáng), 適用于系統(tǒng)集成: 標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)模擬接口, 數(shù)字接口, 方便真空壓力校準(zhǔn)系統(tǒng)配置計(jì)算機(jī)上位機(jī)軟件, 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程或本地計(jì)算機(jī)操控, 全自動(dòng)校驗(yàn), 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等功能.
上海伯東 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)主要型號(hào)
