北京某儀表科技公司真空壓力校準系統(tǒng)應用實例
使用上海伯東 SRG DosiTorr 磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)替代 Inficon 離子規(guī), 作為高精度真空壓力校準系統(tǒng)的標準真空壓力源, 對各種真空傳感器, 真空開關進行檢定或校準.
真空壓力校準系統(tǒng)功能
真空范圍:通用 (133000~5x10°)Pa (4x10-2 Torr); (133000~5x10-4) Pa (4x10-6 Torr)
輸出接口:兩路標準 KF25 卡箍安裝, 兩路標準 KF16 卡箍安裝
多種真空接口轉(zhuǎn)換接頭( VCR-1/2, VCR-1/4, KF16, KF25)
標準器最大誤差: 0.025級, 0.15級, 0.2級
測量有效分辨率: 0.001%FS (0.025級); 0.003%FS
控制精密度: 0.005Pa
工作電源: 220VAC, 50Hz@6A;
客戶配置 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)的高精度真空壓力校準系統(tǒng)適用于研究和開發(fā), 生產(chǎn)制造, 汽車工業(yè), 工業(yè)安全, 石油化工, 造紙, 電力等各科研領域以及工業(yè)領域的精密控制過程.
上海伯東 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計在真空壓力校準系統(tǒng)中的應用優(yōu)勢
一 、固有的抗污染性和堅固設計: 德國 PH-Instruments 超過20年設計制造 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)經(jīng)驗, 推出全金屬傳感器設計以及真空內(nèi)部沒有電氣穿透件的磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計, 對機械應力和腐蝕性氣體具有獨特的抵抗力, 堅固的設計使其比燈絲型離子規(guī)或精細膜片電容規(guī)對比, 顯著不易受污染.
二、高精度和長期穩(wěn)定性: SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計以其高精度而聞名, 表現(xiàn)出卓越的長期穩(wěn)定性, 一些報告顯示校準系數(shù)在 20年內(nèi)變化小于 0.2%. 下圖為初期使用離子真空計 Ion gauge 受到制程氣體影響, 壓力值失真明顯飄移不穩(wěn)定; 替換為 SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計 后, 穩(wěn)定測量制程真空壓力.
三、計量和校準標準「NIST可追溯性」: 幾十年來, SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計一直被計量和校準實驗室信賴為真空校準的精密傳遞標準. 它們提供 NIST 可追溯性, 確保關鍵應用所需的測量一致性和可靠性. 這種能力使其可以在制程腔體中進行現(xiàn)場使用, 以確保高真空計讀數(shù)的準確性和制程機臺之間的一致性, 從而實現(xiàn)可重復的制程結(jié)果與高稼動率.
上海伯東 SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計具有「NIST可追溯性」, 表示其在計量校正上的優(yōu)越性. 如果 SRG 足夠準確和穩(wěn)定以校準其他高真空計, 那么它本身就具備了更苛刻的直接制程測量所需的質(zhì)量.
四、兼容性強, 適用于系統(tǒng)集成: 標準工業(yè)模擬接口, 數(shù)字接口, 方便真空壓力校準系統(tǒng)配置計算機上位機軟件, 實現(xiàn)遠程或本地計算機操控, 全自動校驗, 數(shù)據(jù)存儲等功能.
上海伯東 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計主要型號
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基本參數(shù)
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Dositorr SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計
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VIM-2 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計
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參考圖片
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特點
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多配置可選, 方便 OEM 集成
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配置顯示器, 內(nèi)置鋰電池
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測量范圍
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10 mbar 至 5 x 10-7 mbar
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精度
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10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %
0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數(shù)的 1 %
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長期穩(wěn)定性
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< 每年 1.5 % 的漂移
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模擬接口
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USB Type, 15pin,定制
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USB Type C, 15pin
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數(shù)字接口
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USB, RS232(維護), RS 485
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模擬輸出
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0 - 10 VDC 可配置
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電源要求
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18 至 28 VDC
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* SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計可以替代離子規(guī), 電容薄膜真空規(guī), 諸如 MKS 903 AP, MKS GP 390, MKS GP 355, Inficon HPG400, Inficon MPG400 等型號.
上海伯東 SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計不僅僅定位為傳統(tǒng)真空計的替代品, 而是作為確保先進制造制程中計量完整性的基礎技術. 透過提供高度準確和穩(wěn)定的測量, SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計能夠?qū)崿F(xiàn)更嚴格的制程控制, 減少變異性, 適配更加嚴格的高精度真空壓力校準系統(tǒng).
若您需要進一步的了解 ph instruments 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計, 請參考以下聯(lián)絡方式
上海伯東: 葉小姐
M: +86 1391-883-7267
臺灣伯東: 王小姐
M: +886-939-653-958
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