上海伯東德國(guó) ph-instruments 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)(SRG 轉(zhuǎn)子規(guī))中國(guó)總代理, SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì) CaliTorr 電子測(cè)量頭可以與真空規(guī)分離用于烘烤, SRG 轉(zhuǎn)子規(guī) CaliTorr作為標(biāo)準(zhǔn)真空壓力源, 適用于真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng), 出廠隨附 DAkkS 校準(zhǔn)證書.
SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì) CaliTorr 基本規(guī)格
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測(cè)量原理 |
SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子技術(shù) |
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測(cè)量范圍 |
10 mbar 至 5 x 10-7 mbar |
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精度 |
10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %; |
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長(zhǎng)期穩(wěn)定性 |
< 每年 1.5 % 的漂移 |
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接液材料管/球 |
不銹鋼 |
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安裝方式 |
水平 |
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模擬接口 |
USB Type C, 藍(lán)牙, 15pin |
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數(shù)字接口 |
USB, 藍(lán)牙, RS 232, RS 485 |
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反應(yīng)時(shí)間（快速模式） |
1 秒 |
ph-instruments 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)主要應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造: 離子注入, 干法刻蝕, 物理 / 化學(xué)氣相沉積, 脫氣腔體 (SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)擅長(zhǎng)氫氣氛圍監(jiān)測(cè), 抵抗工藝薄膜沉積.)
低溫真空領(lǐng)域: 低溫儲(chǔ)罐, 液氫輸送管路, 真空絕熱系統(tǒng) (SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)分體無(wú)源傳感器, 適配超低溫環(huán)境.)
制藥真空凍干: Tri?Clover 衛(wèi)生法蘭可選, 支持高溫滅菌, 長(zhǎng)期穩(wěn)定監(jiān)測(cè).
真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng): 計(jì)量級(jí)真空規(guī), 用于對(duì)各類真空計(jì)傳感器 (包括電容薄膜規(guī), 電離規(guī), 電阻規(guī), 熱偶規(guī)等）進(jìn)行全量程, 高精度的計(jì)量檢定與校準(zhǔn).
科研高能物理, 離子束, 分子束裝置 (SRG 傳感器與電控單元遠(yuǎn)距離分離, 屏蔽輻射與等離子干擾.)
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