ph-instruments SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計可替代 MKS, INFICON 離子規(guī)

SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計 VS 離子規(guī)主要優(yōu)勢

類型

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空規(guī)

離子規(guī)((冷陰極離子規(guī)或熱陰極離子規(guī)))

精度

1% 讀數(shù)

約 20% 讀數(shù)

量程

10 mbar 至 5x10-7mbar

1x10-3 mbar 至 1x10-10 mbar

加熱真空腔體

機械測量, 無影響

離子規(guī)會發(fā)熱,導(dǎo)致加熱真空腔體

電離真空

機械測量, 無影響

離子規(guī)會出現(xiàn)離子逃逸,污染真空腔體

讀數(shù)隨時間漂移

<1.5% 每年, 無需校準(zhǔn)

漂移顯著,需要定期校準(zhǔn)

機械穩(wěn)定性

穩(wěn)定

不穩(wěn)定

吸氣泵

無

有限的

脫氣

無

有限的

溫度影響

少

高

超潔凈

材質(zhì)不銹鋼, 耐腐蝕

材質(zhì)多為復(fù)合材料, 燈絲容易被污染,因此不耐腐蝕

對氣體類型的依賴

少

高

沉積

可以忽略不計

高

對振動的敏感

是

否

使用壽命

長(使用數(shù)年)

短(幾個月)


SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計 完善的通訊接口, 可視化操作軟件, 靈活接入各類真空系統(tǒng).
SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計可替代 MKS, INFICON 離子規(guī)

上海伯東代理德國 ph-instruments  高真空磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計, 基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子 SRG 技術(shù)開發(fā), 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 耐腐蝕抗污染, 無燈絲設(shè)計, 長期穩(wěn)定, 無需校準(zhǔn). 替代傳統(tǒng)的離子規(guī) (冷陰極離子規(guī)或熱陰極離子規(guī))

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計不僅僅定位為傳統(tǒng)真空計的替代品, 而是作為確保先進制造制程中計量完整性的基礎(chǔ)技術(shù). 透過提供高度準(zhǔn)確和穩(wěn)定的測量,  SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計能夠?qū)崿F(xiàn)更嚴(yán)格的制程控制, 減少變異性, 提高半導(dǎo)體制造,  鍍膜, 顯示面板, 光伏等高精密應(yīng)用中的良率和產(chǎn)品質(zhì)量.
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更新 : 2026-01-06

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