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類型 |
SRG 旋轉轉子真空規 |
離子規((冷陰極離子規或熱陰極離子規)) |
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精度 |
1% 讀數 |
約 20% 讀數 |
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量程 |
10 mbar 至 5x10-7mbar |
1x10-3 mbar 至 1x10-10 mbar |
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加熱真空腔體 |
機械測量, 無影響 |
離子規會發熱,導致加熱真空腔體 |
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電離真空 |
機械測量, 無影響 |
離子規會出現離子逃逸,污染真空腔體 |
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讀數隨時間漂移 |
<1% 每年, 無需校準 |
漂移顯著,需要定期校準 |
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機械穩定性 |
穩定 |
不穩定 |
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吸氣泵 |
無 |
有限的 |
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脫氣 |
無 |
有限的 |
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溫度影響 |
少 |
高 |
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超潔凈 |
材質不銹鋼, 耐腐蝕 |
材質多為復合材料, 燈絲容易被污染,因此不耐腐蝕 |
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對氣體類型的依賴 |
少 |
高 |
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沉積 |
可以忽略不計 |
高 |
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對振動的敏感 |
是 |
否 |
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使用壽命 |
長(使用數年) |
短(幾個月) |
SRG 磁懸浮轉子真空計 完善的通訊接口, 可視化操作軟件, 靈活接入各類真空系統.
上海伯東代理德國 ph-instruments 高真空磁懸浮轉子真空計, 基于旋轉轉子 SRG 技術開發, 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 耐腐蝕抗污染, 無燈絲設計, 長期穩定, 無需校準. 替代傳統的離子規 (冷陰極離子規或熱陰極離子規)
SRG 旋轉轉子真空計不僅僅定位為傳統真空計的替代品, 而是作為確保先進制造制程中計量完整性的基礎技術. 透過提供高度準確和穩定的測量, SRG 旋轉轉子真空計能夠實現更嚴格的制程控制, 減少變異性, 提高半導體制造, 鍍膜, 顯示面板, 光伏等高精密應用中的良率和產品質量.
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ph-instruments SRG 磁懸浮轉子真空計可替代 MKS, INFICON 離子規
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