問題

解答

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)測量方法的工作原理是什么？

測量真空腔內(nèi)磁懸浮鋼球的旋轉(zhuǎn)頻率變化.

傳感器 / 轉(zhuǎn)子球尺寸,材質(zhì)是什么？

1.4034 不銹鋼, 直徑 4.5 mm, 拋光淬火軸承鋼球

為什么 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)不會(huì)老化？

磁懸浮非接觸式設(shè)計(jì); 無燈絲, 無高溫元器件; 無機(jī)械應(yīng)力; 轉(zhuǎn)子采用淬火軸承鋼球

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)是否具備高潔凈度?

PH-Instrument 提供經(jīng)過高真空清洗的傳感器; 三級清洗工藝（去除鹽類, 金屬雜質(zhì), 碳?xì)浠衔? 水蒸氣）競品無此工藝.

斷電時(shí)會(huì)發(fā)生什么？

鋼球失去磁懸浮, 在測量管內(nèi)自由滾動(dòng); VIM-2 會(huì)切換電池供電; 設(shè)備重啟后必須重新設(shè)置零點(diǎn)

為什么測量方法不會(huì)干擾工藝過程？

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)真空側(cè)無電子器件; 無燈絲; 無離子電流; 無濺射, 吸氣, 放氣效應(yīng), 純磁-機(jī)械測量原理

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)量程是多少？

標(biāo)稱量程: 10 mbar～5×10?? mbar; 可在 1000 mbar下工作, 但該壓力區(qū)間無精度指標(biāo).

絕對測量精度是多少？

經(jīng)過校準(zhǔn)的傳感器: 讀數(shù)的±1%; 未校準(zhǔn)篩選傳感器; 讀數(shù)的±6%

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)能否在大氣壓下工作？

可以運(yùn)行, 但大氣壓工況更適合選用其他類型真空計(jì).

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)是否可以高溫烘烤？

可以; 全金屬結(jié)構(gòu), 測量管內(nèi)無電子器件; 最高烘烤溫度 450 ℃.

機(jī)械安裝復(fù)雜度如何？

可使用標(biāo)準(zhǔn)法蘭, 也可將測量管直接焊接到工藝腔體

零點(diǎn)如何設(shè)置？

可通過圖形界面 GUI, 讀數(shù)單元, SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)本體按鍵設(shè)置; 需要智能算法, 且壓力必須穩(wěn)定低于 2×10?? mbar

零點(diǎn)何時(shí)會(huì)發(fā)生偏移？

供電中斷, 傳感器頭從測量管拆下, 傳感器頭與電子單元通信中斷.

為什么 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)耐腐蝕？

鋼球經(jīng)過拋光, 無可供分子侵蝕的表面; 不銹鋼材質(zhì); 室溫工作; 無真空饋通

為什么 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)受鍍膜沉積影響小？

僅取決于鋼球直徑, 與電氣特性（陽極/陰極）無關(guān); 對于 4.5 mm 球體, 微米級鍍層幾乎不產(chǎn)生影響

傳感器系統(tǒng)使用哪些材料？

1.4034 不銹鋼, 1.4404 不銹鋼

如何將傳感器管密封安裝到設(shè)備上？

使用 CF, KF各類法蘭, 或者焊接

PHI 轉(zhuǎn)子規(guī)提供哪些標(biāo)準(zhǔn)接口？

USB-C, 高密度 15針接口

傳感器管可選材質(zhì)？

玻璃或不銹鋼

幾十年后還能正常工作嗎？

可以, SRG 技術(shù)可穩(wěn)定運(yùn)行數(shù)十年

傳感器與評估單元平均壽命？

10年以上, 按設(shè)備整機(jī)壽命設(shè)計(jì)

傳感器管安裝姿態(tài)要求？

理想水平（±2°, 最大允許±5°）, 防止傾斜, 保障旋轉(zhuǎn)狀態(tài)

傳感器頭是否會(huì)發(fā)熱？

壓力高于100 mbar 工況會(huì)發(fā)熱; 內(nèi)置溫度傳感器, 70 ℃ 設(shè)備自動(dòng)停機(jī)

什么是皮魯埃特效應(yīng)（Pirouette Effect）？

描述旋轉(zhuǎn)物體質(zhì)量分布對旋轉(zhuǎn)頻率帶來的影響; SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)中鋼球冷卻收縮會(huì)造成測量值偏移.

鋼球多久重新加速一次？

取決于壓力; 1 mbar 下每隔數(shù)秒; 10?? mbar下 間隔可達(dá)數(shù)天.

隨便用軸承鋼球都可以嗎？

不行; 篩選后最多 80%可用, 高端校準(zhǔn)場景僅 10%. 

市場上任意鋼球/傳感器都可以測量嗎？

可以

測量管抗機(jī)械損傷能力如何？

標(biāo)配可旋裝重型防護(hù)套管

傳感器可以對接競品設(shè)備（如MKS）嗎？

可以

讀數(shù)單元安裝需要工具嗎？

不需要, 直接插接即可

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)可以替代冷陰極離子規(guī)嗎？

可以, 提供即插即用方案

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)可以替代熱陰極離子規(guī)嗎？

可以, 提供即插即用方案

重新校準(zhǔn)時(shí)需要寄回整套設(shè)備嗎？

不需要, 僅寄回傳感器組件即可

用戶可以自行清洗傳感器管 / 傳感器嗎？

可以, 支持用戶現(xiàn)場清洗。

產(chǎn)品產(chǎn)地？

奧地利, 歐洲供應(yīng)鏈

可持續(xù)性？

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)全部不銹鋼材質(zhì); 長壽命, 少廢棄物; 不使用膠水, 塑料; 支持重新校準(zhǔn)與維修

故障率？

公司自 2019 年成立以來, 無已知電氣, 機(jī)械失效案例

工廠校準(zhǔn)分哪些等級？

DAkkS（德國認(rèn)可實(shí)驗(yàn)室）, CAL（ 依據(jù) ISO 3567 / 24477 工廠校準(zhǔn)并出具證書), SEL (篩選級), PTB ( 德國國家最高計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)) 

PHI-SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)對比 MKS SRG -3 優(yōu)勢？

磁懸浮軸承承載力高一倍, 抗振動(dòng), 抗傾斜更強(qiáng); 無易損運(yùn)動(dòng)件; 耐久性更高; 即插即用; GUI 圖形軟件; 操作簡單; VIM-2 型號支持電池便攜使用

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)成本優(yōu)勢？

無需備件, 無需更換漂移老化燈絲; 近乎無限壽命, 已有部分設(shè)備使用滿 30年.

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)哪些部件需要校準(zhǔn)？

根據(jù)應(yīng)用確定轉(zhuǎn)子鋼球 / 傳感器; 低溫（Cryo）應(yīng)用本身固有精度高, 無需校準(zhǔn)

用戶可以自行更換傳感器嗎？

VIM-2 與 Calitorr 機(jī)型用戶可自行更換鋼球; 建議優(yōu)先由上海伯東或 PHI 工程師更換

一臺(tái)設(shè)備可讀取多少個(gè)傳感器？

數(shù)量無限制

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)會(huì)漂移嗎？

漂移極低（每年＜1.5%）; 被 NIST, PTB, AIST 等機(jī)構(gòu)作為傳遞標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證

傳感器是否可更換？

除焊接固定底座（焊接鎖緊夾, 最大化安全）以外的法蘭均可更換傳感器

為什么需要可更換傳感器？

用于重新校準(zhǔn), 清洗, 滿足 ISO 體系要求

用戶可以自行更換傳感器嗎？

SEL 篩選級用戶可自行更換; CAL/DAkkS 級建議由 PHI 服務(wù)完成

腔體與腔體之間匹配, 絕對精度是否重要？

非常重要（低溫應(yīng)用除外）

零點(diǎn)多久調(diào)整一次？

低溫工況: 幾乎不用; 半導(dǎo)體工藝取決于工況; 標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行條件下基本無需調(diào)整

狹小空間是否可以使用 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)？

可以, 選用 Transducer Extend 加長型; 也可通過 T型接頭遠(yuǎn)離工藝腔體布置; 需要與離子規(guī)保持距離, 避免污染

工藝應(yīng)用中絕對精度重要嗎？

重要; 真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)絕對精度優(yōu)先, 但長期穩(wěn)定性（重復(fù)性）更加關(guān)鍵

VIM-2 適合什么場景？

低溫應(yīng)用（分體結(jié)構(gòu), 傳感器端無電子器件）; 校準(zhǔn)場景; 測量管最高烘烤450 ℃

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)測量精度與重復(fù)性如何？

未工廠校準(zhǔn)固有精度 ±6%; 校準(zhǔn)后 ±1%; 長期穩(wěn)定性優(yōu)異

外界磁場會(huì)對轉(zhuǎn)子規(guī)產(chǎn)生什么影響？

鐵磁外殼屏蔽, 不受普通工業(yè)磁場干擾

CF 法蘭是否合適？

金屬密封, 面向高端高要求應(yīng)用; 需要 6組螺栓螺母拆裝

為什么真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)優(yōu)先選用 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)？

高絕對精度, 低漂移, 公認(rèn)的傳遞標(biāo)準(zhǔn)

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)會(huì)向工藝腔體輻射磁場嗎？

不會(huì); 鐵磁外殼實(shí)現(xiàn)磁場封閉

KF 法蘭是否合適？

彈性密封圈密封, 最高到10?? mbar; 卡箍快速拆裝

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)可以做滅菌處理嗎？

完全可以; 優(yōu)質(zhì)316L不銹鋼, 結(jié)構(gòu)簡單

是否適用于高溫工況？

可以, 高溫型 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)最高可達(dá) 100 ℃; 是該溫度下唯一高真空測量設(shè)備

Transducer 變送器是否合適？

需要集成嵌入系統(tǒng)的場景; 零點(diǎn)與校準(zhǔn)參數(shù)預(yù)配置, 即插即用

Tri-Clover 衛(wèi)生法蘭適用嗎？

凍干工藝適用, PHI 可提供

可以測量氫氣嗎？

可以, 支持氫氣測量

Transducer 變送器是否支持在線監(jiān)測？

適用于低溫醫(yī)療應(yīng)用, 液化氣輸送

焊接底座方案適合嗎？

僅推薦低溫場景; 優(yōu)勢是泄漏風(fēng)險(xiǎn)最低,壽命長。

低溫版本為什么傳感器不可更換？

數(shù)十年運(yùn)行也絕不允許鋼球從管內(nèi)脫落; 保證超高潔凈

為什么低溫工況絕對精度要求可以放寬？

測量橫跨 10??～10 mbar 多個(gè)數(shù)量級

低溫應(yīng)用需要設(shè)置零點(diǎn)嗎？

不需要; SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)固有分辨率到 10?? mbar, 無需零點(diǎn)

傾斜安裝還能測量嗎？

可以, 但會(huì)損失絕對精度

低溫技術(shù)中 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)優(yōu)勢？

高絕對精度, 不對真空產(chǎn)生干擾, 長壽命, 低漂移, 分體式系統(tǒng)

能否提供 3.1 材質(zhì)檢驗(yàn)證書？

可以, 用于材質(zhì)溯源和規(guī)格證明

1秒響應(yīng)時(shí)間有什么意義？

半導(dǎo)體工藝非常關(guān)鍵; 低溫, 凍干, 校準(zhǔn)場景不重要

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)測量速度？

快速模式 1秒; 一般 1-30秒, 取決于壓力區(qū)間

半導(dǎo)體行業(yè)使用 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)優(yōu)勢？

高絕對精度與重復(fù)性; 不干擾工藝; 長壽命; 漂移極小

脫氣腔室為什么適合 SRG 真空計(jì)？

SRG 可以測量氫氣（離子規(guī)做不到）; 抗污染, 抗沉積

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)能否實(shí)時(shí)修正離子規(guī)信號？

可以, 搭配 Booster 輔助模塊

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)能否半自動(dòng)校準(zhǔn)離子規(guī)？

可以, 搭配 Booster 輔助模塊

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)多久需要重新校準(zhǔn)？

非可凝性氣體理論上無需校準(zhǔn); ISO 3567 標(biāo)準(zhǔn)建議參考標(biāo)準(zhǔn)每年校準(zhǔn)一次

校準(zhǔn)系數(shù)是否和氣體種類相關(guān)？

幾乎無影響, 可忽略

測量結(jié)果是否受氣體種類影響？

會(huì), 但僅和摩爾質(zhì)量平方根相關(guān)（物理規(guī)律已知）

測量結(jié)果是否受溫度影響？

會(huì), 但僅和溫度平方根相關(guān)（物理規(guī)律已知）

如何避免嚴(yán)重凝露？

使用高溫版 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)（最高100 ℃）

不做零點(diǎn)調(diào)整, 精度如何？

典型殘余拖拽偏移：1×10??～3×10?? mbar

不使用校準(zhǔn)系數(shù), 精度如何？

最大偏差為讀數(shù)的 ±6%

替換不同廠家離子規(guī)工作量多大？

確認(rèn)法蘭與離子規(guī)型號; 即插即用

替換離子規(guī)風(fēng)險(xiǎn)多大？

無風(fēng)險(xiǎn), 100% 替換成功率

變送器輸出哪些信號？

Modbus, 可選 ASCII, 可選 LabView 驅(qū)動(dòng), 模擬量 0-10 VDC

傳感器管最高耐溫？

彈性密封: 150 ℃；金屬密封烘烤: 450 ℃。

是否有高溫氣體摩擦真空計(jì)？

有, PH-Instruments 高溫SRG 轉(zhuǎn)子規(guī), 2025年全球首發(fā)

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)理想測量區(qū)間？

10?²～1×10?? mbar; 核心優(yōu)勢區(qū)間10??～10?? mbar

能否測量低于1×10?? mbar？

不推薦, 僅限專業(yè)專家場景

SRG轉(zhuǎn)子規(guī)主要應(yīng)用場景？

半導(dǎo)體離子注入, 脫氣, 低溫真空, 真空絕熱, 真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)最早應(yīng)用領(lǐng)域？

計(jì)量校準(zhǔn)（PTD）

變送器和實(shí)驗(yàn)室 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)區(qū)別？

變送器自主運(yùn)行, 面向系統(tǒng)集成; VIM-2 相比手動(dòng)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備, 一鍵式便攜操作

是否需要手動(dòng)設(shè)置測量時(shí)間？

不需要, 具備自適應(yīng)模式

可選擇的響應(yīng)時(shí)間？

1、3、5、10、20、30 秒或自適應(yīng); 快速模式1秒

抗振動(dòng)性能？

磁懸浮軸承承載力是競品兩倍, 抗振動(dòng)較好

是否具備ATEX防爆認(rèn)證？

暫無, 但可以做認(rèn)證

工業(yè)PVD物理氣相沉積優(yōu)勢？

適配該工藝起始壓力 2×10?? mbar

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)在干法刻蝕 Dry-Etch 優(yōu)勢？

高精度, 不干擾工藝, 低漂移, 抗沉積, 耐溫100 ℃

凍干工藝優(yōu)勢？

高精度, 可滅菌, 長期穩(wěn)定, 低漂移

離子束/分子束應(yīng)用優(yōu)勢？

高精度, 重復(fù)性好, 不干擾工藝, 壽命長

提供哪些校準(zhǔn)等級？

SEL 篩選級, CAL 工廠校準(zhǔn), DAkkS 認(rèn)可實(shí)驗(yàn)室, PTB 國家計(jì)量院

是否存在真空饋通？

完全沒有任何饋通

電子單元與傳感器最大距離？

標(biāo)準(zhǔn)最大5 米; 特殊版本可達(dá)10 米

抗輻射能力？

電子單元可分離最遠(yuǎn)5 米（特殊10米）放置于輻射屏蔽區(qū); 不銹鋼傳感器本體耐輻射能力強(qiáng)

變送器有哪些優(yōu)勢？

即插即用, 預(yù)配置參數(shù), 自主測量

能否1:1直接替換離子規(guī)？

可以，前提是 10?²～5×10?? mbar 范圍內(nèi), 1秒響應(yīng)可接受

如果1秒響應(yīng)不夠怎么辦？

搭配 Booster 模塊, 與離子規(guī)并行測量, 實(shí)現(xiàn)原位校準(zhǔn)

VIM-2供電？

24 VDC; 配套 100-240 VAC 電源適配器

是否有電池供電便攜式氣體摩擦真空計(jì)？

有, VIM-2 支持市電與電池雙模式

單次測量耗時(shí)？

1-30 秒, 取決于允許不確定度與壓力

數(shù)據(jù)如何保存？

GUI 軟件導(dǎo)出.csv；VIM-2 本機(jī)存儲(chǔ)1023條記錄（含時(shí)間戳, 壓力, 溫度）

數(shù)據(jù)導(dǎo)出格式？

.csv文本; 模擬量 0-10 V

配套操作軟件？

標(biāo)配 U盤提供軟件

改造替換施工時(shí)長？

約 1小時(shí)

改造替換風(fēng)險(xiǎn)？

零風(fēng)險(xiǎn)

模擬輸出信號？

0-10 VDC, 0-10 mVDC

信號延遲？

數(shù)字輸出 ＜60 ms；模擬輸出零延遲

為什么推出高溫 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)型號？

滿足滅菌需求, 同時(shí)防止氣體凝露

PH-Instruments 累計(jì)生產(chǎn)多少臺(tái) SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)？

約 600臺(tái)

傳感器系統(tǒng)適合戶外使用嗎？

可以, 全不銹鋼金屬結(jié)構(gòu)

斷電會(huì)改變校準(zhǔn)狀態(tài)嗎？

不會(huì), 影響可忽略

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)可安裝位置？

離子規(guī)點(diǎn)位 IG1-3, 脫氣腔, 低溫真空儲(chǔ)罐, 輸送管路, 控制柜面板, 液氫加注站等

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)適配哪些設(shè)備？

離子注入機(jī), 集群設(shè)備（PVD/CVD）, 高溫爐, 濺射設(shè)備, 工業(yè) PVD , 離子束設(shè)備

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)對比離子規(guī)精度？

相比全新離子規(guī), 精度至少高20倍, 幾乎無漂移

SRG 對比離子規(guī)壽命？

SRG＞10年; 離子規(guī)通常數(shù)周至最長1年

SRG 對比離子規(guī)重復(fù)性？

重復(fù)性高, 幾乎無漂移

SRG 測量腔材質(zhì)組成？

全部不銹鋼

SRG 對比離子規(guī)線性度？

SRG 對所有氣體 100%線性; 離子規(guī)需要針對不同氣體多點(diǎn)校準(zhǔn)

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)在哪段壓力完全線性？

分子流區(qū)間, ＜10?² mbar

高于該壓力區(qū)間表現(xiàn)如何？

通過內(nèi)置溫度傳感器反饋補(bǔ)償

是否有補(bǔ)償, 是什么補(bǔ)償？

薩瑟蘭 Sutherland 補(bǔ)償

超出線性區(qū)間后精度變化？

10?²～10 mbar, 精度從 1% 平滑變化到 10%

SRG 氣體依賴性低且可補(bǔ)償?shù)脑颍?/span>

僅存在平方根關(guān)系; 摩爾質(zhì)量與溫度均可明確測量

SRG 溫度依賴性低且可補(bǔ)償?shù)脑颍?/span>

僅存在平方根關(guān)系; 傳感器端持續(xù)采集溫度

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)溫度補(bǔ)償需要手動(dòng)設(shè)置嗎？

不需要, 溫度傳感器集成在傳感器頭部

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)抗振動(dòng)原因？

90 mT 強(qiáng)磁懸浮軸承, 鋼球旋轉(zhuǎn)頻率 600 Hz

離子注入機(jī)上 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)安裝位置？

IG1, IG2, IG3 離子規(guī)點(diǎn)位

IG1 點(diǎn)位 SRG 優(yōu)勢？

重復(fù)性好, 腔體之間讀數(shù)匹配, 無漂移, 抗污染; 快速識(shí)別泄漏與放氣; 替代老舊控制器

IG2 點(diǎn)位 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)優(yōu)勢？

同 IG1: 高重復(fù)性, 絕對精度, 無漂移, 抗污染; 按整機(jī)壽命設(shè)計(jì)

IG3 點(diǎn)位 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)優(yōu)勢？

通過 Booster 模塊作為離子規(guī)參考消除漂移; 識(shí)別低溫泵故障, 減少停機(jī)時(shí)間

IG3 點(diǎn)位 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)在壓力補(bǔ)償方面帶來什么收益？

成品率提升1%以上; 晶圓均勻性最高改善5%; 晶圓報(bào)廢量最高下降 100%

IG3 使用 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)能否避免晶圓報(bào)廢？

可以; 提前識(shí)別漂移, 對離子規(guī)重新校準(zhǔn)

IG3 使用 SRG 能否避免成品率損失？

可以; 提前識(shí)別漂移, 對離子規(guī)重新校準(zhǔn)

IG3 使用 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)能否避免設(shè)備停機(jī)？

可以; 提前識(shí)別漂移, 對離子規(guī)重新校準(zhǔn)

IG3 使用 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)能否避免不必要低溫泵更換？

可以; SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)作為參考區(qū)分是儀表漂移還是真實(shí)壓力變化

IG3 使用 SRG 能否縮短預(yù)防性維護(hù)后的停機(jī)時(shí)間？

可以, 更快完成設(shè)備合格/不合格判定

IG3 使用 SRG 對離子規(guī)壽命有影響嗎？

可以, 漂移發(fā)生時(shí)觸發(fā)重新校準(zhǔn), 延長離子規(guī)可用周期

IG3 使用 SRG 對離子規(guī)精度有影響嗎？

可以, 提升離子規(guī)測量精度

哪類離子注入機(jī) IG1 最需要 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)？

大束流離子注入機(jī)

哪類離子注入機(jī) IG3 最需要使用 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)？

所有帶壓力補(bǔ)償, 批量處理機(jī)型

IG3 針對低溫泵解決什么痛點(diǎn)？

精準(zhǔn)區(qū)分故障來自真空計(jì)還是低溫泵本體

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)可以接 T型接頭,彎頭嗎？

可以, 無負(fù)面影響

哪些工藝優(yōu)先選用 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)？

離子注入機(jī), 低溫儲(chǔ)罐, 輸送管路, 容器, 拖車, PVD 設(shè)備, 真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)能否替代老舊離子規(guī)？

可以, PH-Instruments 提供即插即用改造

能否替代老舊 0-10 mV 離子規(guī)？

可以, 即插即用

1:1 替換成功率？

100%

SRG 變送器改造耗時(shí)？

最長 1 小時(shí)

離子注入設(shè)備上 SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)壽命？

和整機(jī)設(shè)備同壽命

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)是否需要閥門隔離腔體？

不需要, 設(shè)備魯棒性極強(qiáng)

變送器抗電弧嗎？

抗電弧

可以檢測瞬態(tài)異常（glitch）嗎？

可以, 已用于篩選不良晶圓

對高級工藝控制 APC 是否有益？

有益. SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)無漂移, 不怕污染, 故障率低

實(shí)現(xiàn)腔體之間讀數(shù)匹配嗎？

可以, 高精度, 高重復(fù)性

離子源（IG1）泄漏檢測？

可以

檢測材料放氣？

可以

識(shí)別 MFC 質(zhì)量流量控制器漂移？

可以

監(jiān)測含氫工藝氣體？

可以

VIM-2 對比競品優(yōu)勢？

更強(qiáng)磁懸浮軸承; 便攜一鍵操作; 免工具安裝; 更好磁屏蔽

PHI 轉(zhuǎn)子規(guī)法蘭對比競品差異？

PHI 提供全系列法蘭 (CF40, 焊接底座等）; 一體成型; 標(biāo)配機(jī)械防護(hù)套管.

DosiTorr 轉(zhuǎn)子規(guī)連接能力？

USB-C, HD15, 在線監(jiān)測

DAkkS 校準(zhǔn)周期？

14 周

提供哪些校準(zhǔn)類型？

DAkkS, CAL, SEL, PTB

校準(zhǔn)周期時(shí)長？

CAL/SEL 約1周; PTB 6-12個(gè)月

能否測量腐蝕性介質(zhì)？

可以, 例如三氟化硼 BF?, 磷化氫 PH?等

傳感器到主機(jī)信號傳輸方式？

感應(yīng)耦合, 無饋通, 無泄漏風(fēng)險(xiǎn)

鋼球重新加速會(huì)不會(huì)打斷連續(xù)測量？

不會(huì), 重加速僅毫秒級

操作復(fù)雜度？

VIM-2一鍵操作; Dositorr 系列自主運(yùn)行

能否即插即用替換全部離子規(guī)？

SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)可以替換全部離子規(guī)

工藝真空計(jì)主要應(yīng)用領(lǐng)域？

離子/分子束源, 鍍膜工藝

減少蒸發(fā)損耗效應(yīng)？

可以, SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)可以絕熱真空側(cè)早期監(jiān)測

不破壞低溫真空腔體實(shí)現(xiàn)測壓？

可以, SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)分體結(jié)構(gòu)降低操作風(fēng)險(xiǎn)

高能物理領(lǐng)域可用嗎？

可以; SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)傳感器與電子單元最遠(yuǎn)可分離 5米