CaliTorr: 電子測(cè)量頭可以與真空規(guī)分離用于烘烤
DosiTorr 擴(kuò)展: 測(cè)量頭和電子設(shè)備分離, 便于在空間受限的設(shè)備中安裝
DosiTorr 配置: 設(shè)計(jì)用于 1:1 離子規(guī)更換配置電接口(即插即用解決方案)
SRG 磁懸浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空規(guī)與離子規(guī)對(duì)比表
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類型 |
SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空規(guī) |
離子規(guī) |
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精度 |
1% 讀數(shù) |
約 20% 讀數(shù) |
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量程 |
10 mbar 至 5x10-7mbar |
1x10-3mbar 至 1x10-10mbar |
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加熱真空腔體 |
機(jī)械測(cè)量, 無影響 |
離子規(guī)會(huì)發(fā)熱,導(dǎo)致加熱真空腔體 |
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電離真空 |
機(jī)械測(cè)量, 無影響 |
離子規(guī)會(huì)出現(xiàn)離子逃逸,污染真空腔體 |
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讀數(shù)隨時(shí)間漂移 |
<1% 每年, 無需校準(zhǔn) |
漂移顯著,需要定期校準(zhǔn) |
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機(jī)械穩(wěn)定性 |
穩(wěn)定 |
不穩(wěn)定 |
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吸氣泵 |
無 |
有限的 |
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脫氣 |
無 |
有限的 |
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溫度影響 |
少 |
高 |
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超潔凈 |
材質(zhì)不銹鋼, 耐腐蝕和沉積 |
材質(zhì)多為復(fù)合材料, 燈絲容易被污染,因此不耐腐蝕 |
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對(duì)氣體類型的依賴 |
少 |
高 |
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沉積 |
可以忽略不計(jì) |
高 |
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對(duì)振動(dòng)的敏感 |
是 |
否 |
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使用壽命 |
長(使用數(shù)年) |
短(幾個(gè)月) |
上海伯東 ph-instruments SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空規(guī)主要優(yōu)勢(shì)
更寬的測(cè)量范圍: (1000) 100 至 5x10-7mbar 滿足不同應(yīng)用
可靠性和準(zhǔn)確性: +/- 1% 的讀數(shù)精度, 更強(qiáng)的旋轉(zhuǎn)頻率 615Hz
長期穩(wěn)定性（每年<1.5%漂移）: 更強(qiáng)的磁場(chǎng) 90mT, 更好的屏蔽材料 ST37
機(jī)械穩(wěn)定性: 更堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì), 全金屬固定
兼容性和靈活性:多種法蘭接口 CF40, KF25, 8VCR
方便使用: 故障分析診斷功能, 易于設(shè)置和控制,支持?jǐn)?shù)據(jù)存儲(chǔ), 24VDC 和電池供電
上海伯東德國 ph-instruments Dositorr SRG 高真空傳感器適用于工藝中的連續(xù), 自動(dòng), 高真空測(cè)量, 并提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr: 傳感器, 測(cè)量頭和電子設(shè)備集成在一個(gè)緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測(cè)量頭可以與真空規(guī)分離用于烘烤
DosiTorr 擴(kuò)展: 測(cè)量頭和電子設(shè)備分離, 便于在空間受限的設(shè)備中安裝
DosiTorr 配置: 設(shè)計(jì)用于 1:1 離子規(guī)更換配置電接口(即插即用解決方案)
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SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用于顯示面板腔體測(cè)量
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