CaliTorr: 電子測量頭可以與真空規分離用于烘烤
DosiTorr 擴展: 測量頭和電子設備分離, 便于在空間受限的設備中安裝
DosiTorr 配置: 設計用于 1:1 離子規更換配置電接口(即插即用解決方案)
SRG 磁懸浮旋轉轉子真空規與離子規對比表
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類型 |
SRG 旋轉轉子真空規 |
離子規 |
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精度 |
1% 讀數 |
約 20% 讀數 |
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量程 |
10 mbar 至 5x10-7mbar |
1x10-3mbar 至 1x10-10mbar |
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加熱真空腔體 |
機械測量, 無影響 |
離子規會發熱,導致加熱真空腔體 |
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電離真空 |
機械測量, 無影響 |
離子規會出現離子逃逸,污染真空腔體 |
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讀數隨時間漂移 |
<1% 每年, 無需校準 |
漂移顯著,需要定期校準 |
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機械穩定性 |
穩定 |
不穩定 |
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吸氣泵 |
無 |
有限的 |
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脫氣 |
無 |
有限的 |
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溫度影響 |
少 |
高 |
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超潔凈 |
材質不銹鋼, 耐腐蝕和沉積 |
材質多為復合材料, 燈絲容易被污染,因此不耐腐蝕 |
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對氣體類型的依賴 |
少 |
高 |
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沉積 |
可以忽略不計 |
高 |
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對振動的敏感 |
是 |
否 |
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使用壽命 |
長(使用數年) |
短(幾個月) |
上海伯東 ph-instruments SRG 旋轉轉子真空規主要優勢
更寬的測量范圍: (1000) 100 至 5x10-7mbar 滿足不同應用
可靠性和準確性: +/- 1% 的讀數精度, 更強的旋轉頻率 615Hz
長期穩定性（每年<1.5%漂移）: 更強的磁場 90mT, 更好的屏蔽材料 ST37
機械穩定性: 更堅固的機械設計, 全金屬固定
兼容性和靈活性:多種法蘭接口 CF40, KF25, 8VCR
方便使用: 故障分析診斷功能, 易于設置和控制,支持數據存儲, 24VDC 和電池供電
上海伯東德國 ph-instruments Dositorr SRG 高真空傳感器適用于工藝中的連續, 自動, 高真空測量, 并提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr: 傳感器, 測量頭和電子設備集成在一個緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測量頭可以與真空規分離用于烘烤
DosiTorr 擴展: 測量頭和電子設備分離, 便于在空間受限的設備中安裝
DosiTorr 配置: 設計用于 1:1 離子規更換配置電接口(即插即用解決方案)
若您需要進一步的了解 ph-instruments SRG 磁懸浮轉子真空計, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
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SRG 磁懸浮轉子真空計應用于顯示面板腔體測量
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