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SRG 磁懸浮轉子真空計在半導體工藝中的應用優勢:
與離子規(冷陰極或熱陰極)對比, 離子規與電容真空計在真空干燥固化 ( Vacuum Dry, VCD) 及半導體離子注入 (Implantation) 制程中, 易受溫度, 制程物質污染的影響, 面臨被污染和失真等問題, 導致測量值不準確和制程不穩定. 上海伯東 SRG (Spinning Rotor Gauge, SRG) 磁懸浮轉子真空計, 全金屬設計,真空內部沒有電氣穿透件, 作為更穩定, 更精確且更具抗污染能力的替代方案, 在嚴苛的制程環境中能提供卓越的性能, 有效提升制程可靠性和產品良率.

在半導體離子注入工藝中, SRG 磁懸浮轉子真空計零失誤, 零偏差, 精準測量
下圖是在離子注入工藝中的評估數據示意圖. 離子規 (紅色) 與 SRG 轉子規 (綠色) 的壓力讀數對比圖. 紅色箭頭指示了離子規的更換情況.

推薦使用 SRG 磁懸浮轉子真空計 DosiTorr extend config: 測量頭和電子設備分離設計
在半導體工藝中, 上海伯東 SRG 磁懸浮轉子真空計可以替代 Granville Phillips, MKS, Inficon, AMAT 等品牌的真空規.

測量原理	SRG 旋轉轉子技術
測量范圍	7 Torr 至 4 x 10^-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10^-7 mbar)
精度	7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %; 0.07 Torr 至 7 x 10^-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10^-6 mbar 讀數的 1 %
長期穩定性	< 每年 1 % 的漂移
接液材料管/球	不銹鋼
安裝方式	水平
模擬接口	USB Type C, 藍牙, 15pin
數字接口	USB, 藍牙, RS 232, RS 485
反應時間（快速模式）	1 秒

PH-Instruments 磁懸浮轉子真空計

SRG 旋轉轉子真空計具有「NIST可追溯性」, 表示其在計量校正上的優越性. 如果 SRG 足夠準確和穩定以校準其他高真空計, 那么它本身就具備了更苛刻的直接制程測量所需的質量.

上海伯東 SRG 旋轉轉子真空計不僅僅定位為傳統真空計的替代品, 而是作為確保先進制造制程中計量完整性的基礎技術. 透過提供高度準確和穩定的測量, SRG 旋轉轉子真空計能夠實現更嚴格的制程控制, 減少變異性, 提高半導體制造, 鍍膜, 顯示面板, 光伏等高精密應用中的良率和產品質量.

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