高污染行業(yè), 在使用離子規(guī) (冷陰極或熱陰極)時(shí), 普遍面臨以下問題
穩(wěn)定性缺陷: 無法提供可靠精確的真空壓力數(shù)據(jù)
腐蝕失效: 沉積物堆積和氣體腐蝕導(dǎo)致離子規(guī)快速損壞
設(shè)備成本: 高額直接更換成本（頻繁替換離子規(guī)+停機(jī)損失）
衍生風(fēng)險(xiǎn): 渦輪分子泵損壞或晶圓報(bào)廢
上海伯東代理德國 ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì), 耐腐蝕, 無燈絲設(shè)計(jì), 沒有內(nèi)在的污染源, 不會(huì)造成二次電離污染沉積. 完全替代離子規(guī), 提供可靠的, 長期穩(wěn)定的壓力測試, 更適合高污染的嚴(yán)苛工藝環(huán)境.
.jpg)
|
技術(shù)指標(biāo) |
DosiTorr SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì) |
傳統(tǒng)離子規(guī)(冷陰極離子規(guī)或熱陰極離子規(guī)) |
|---|---|---|
|
測量精度 |
±1% (0.1-10?? mbar) |
±10-20% |
|
長期穩(wěn)定性 |
<1% |
>5% |
|
耐腐蝕性 |
316L不銹鋼(1.4404), 耐腐蝕, 無二次污染風(fēng)險(xiǎn) |
鎢絲 |
|
維護(hù)周期 |
磁懸浮設(shè)計(jì)（免維護(hù)） |
幾周維護(hù) |
若您需要進(jìn)一步的了解 ph-instruments 高真空磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì), 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐 臺(tái)灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 101 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！
