高污染行業, 在使用離子規 (冷陰極或熱陰極)時, 普遍面臨以下問題
穩定性缺陷: 無法提供可靠精確的真空壓力數據
腐蝕失效: 沉積物堆積和氣體腐蝕導致離子規快速損壞
設備成本: 高額直接更換成本（頻繁替換離子規+停機損失）
衍生風險: 渦輪分子泵損壞或晶圓報廢
上海伯東代理德國 ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉子真空計, 耐腐蝕, 無燈絲設計, 沒有內在的污染源, 不會造成二次電離污染沉積. 完全替代離子規, 提供可靠的, 長期穩定的壓力測試, 更適合高污染的嚴苛工藝環境.
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技術指標 |
DosiTorr SRG 磁懸浮轉子真空計 |
傳統離子規(冷陰極離子規或熱陰極離子規) |
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測量精度 |
±1% (0.1-10?? mbar) |
±10-20% |
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長期穩定性 |
<1.5% |
>5% |
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耐腐蝕性 |
316L不銹鋼(1.4404), 耐腐蝕, 無二次污染風險 |
鎢絲 |
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維護周期 |
磁懸浮設計（免維護） |
幾周維護 |
若您需要進一步的了解 ph-instruments 高真空磁懸浮轉子真空計, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
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SRG 磁懸浮轉子真空計替代離子規適用于腐蝕和沉積環境
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