Dositorr SRG 高真空傳感器在離子注入工藝中的技術優勢
無漂移: 意味著穩定的可重復真空讀數
SRG 旋轉轉子壓力表技術的磁懸浮傳感器: 免維護
耐腐蝕, 無污染, 對沉積不敏感
耐磁場, 振動, 高壓和高溫環境
查看實際壓力讀數, 放氣等
與真空無相互作用: 超潔凈
真空區無饋通: 全電磁
可更換, 可清洗的傳感器, 減少停機時間, 降低維護成本
查看真實的壓力讀數, 放氣等
Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計

Dositorr SRG 高真空傳感器可以替代離子注入工藝中的 ion source 離子規
Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計


上圖是 Implant process 離子注入工藝中的評估比較
離子規 (紅色) 和 Dositorr SRG 高真空傳感器（綠色）壓力讀數比較. 紅色箭頭指向離子規的更換. 

Dositorr SRG 高真空傳感器技術規格

測量原理

旋轉轉子壓力表

測量范圍

7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar)

精度

7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %;
0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數的 1 %

長期穩定性

< 每年 1 % 的漂移

接液材料管/球

不銹鋼

安裝方式

水平

模擬接口

USB Type C, 藍牙, 15pin

數字接口

USB, 藍牙, RS 232, RS 485

反應時間（快速模式）

1 秒

 


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上海伯東: 葉小姐                                  臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
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更新 : 2025-12-05

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