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測量原理 |
旋轉轉子壓力表 |
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可調壓力范圍 |
5X10-7 mbar 至 1X10-2 mbar (最大 1 mbar) |
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精度 |
0.1 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數的 1% |
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測量時間 SRG |
3, 5, 10, 20, 30 秒 |
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單次循環時間 |
< 1 秒 |
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長期穩定性 |
< 每年 1% 漂移 |
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DUT 數量 |
2個 |
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接口 |
KF 25 |
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高真空泵組 |
Hicube 80 Eco DN 63 CF-F |
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旁通泵 |
隔膜泵 |
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數字接口 |
USB-C, 藍牙(可選), RS 232, RS 485, 網絡接口 |
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軟件 |
Win10, ION Check APP |
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兼容插頭(包括電纜) |
MKS/GP 354, MKS /GP 355, MKS 971B |
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通用插頭 |
CC/HC/皮拉尼, 帶 24 VDC 電源和 0-10 VDC 模擬輸出(可根據要求提供電纜) |
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校準氣體(可選) |
N2 (可根據要求提供) |
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