ph-instruments ION Check 真空規(guī)校準(zhǔn)系統(tǒng)適用于校準(zhǔn)和比較高真空計. 結(jié)構(gòu)緊湊, 設(shè)計包含無油高真空系統(tǒng) Hicube 80, 氣體計量單元, 讀取和校準(zhǔn)具有模擬輸出的真空表的硬件和軟件.

ION Check 真空規(guī)校準(zhǔn)系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格

測量原理

旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子壓力表

可調(diào)壓力范圍

5X10-7 mbar 至 1X10-2 mbar (最大 1 mbar)
4X10-7 Torr 至 7 x 10-3 Torr (最大 1 Torr)

精度

0.1 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數(shù)的 1%
0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr 讀數(shù)的 1%

測量時間 SRG

3, 5, 10, 20, 30 秒

單次循環(huán)時間

< 1 秒

長期穩(wěn)定性

< 每年 1% 漂移

DUT 數(shù)量

2個

接口

KF 25

高真空泵組

Hicube 80 Eco DN 63 CF-F

旁通泵

隔膜泵

數(shù)字接口

USB-C, 藍(lán)牙(可選), RS 232, RS 485, 網(wǎng)絡(luò)接口

軟件

Win10, ION Check APP

兼容插頭（包括電纜）

MKS/GP 354, MKS /GP 355, MKS 971B

通用插頭

CC/HC/皮拉尼, 帶 24 VDC 電源和 0-10 VDC 模擬輸出（可根據(jù)要求提供電纜）

校準(zhǔn)氣體（可選）

N2 （可根據(jù)要求提供）


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