上海伯東德國 ph-instruments SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì) DosiTorr Extend, 測(cè)量頭和電子設(shè)備分離設(shè)計(jì), 耐腐蝕, 抗輻射（紫外線, ……）以及耐高溫, 無需打開密封的真空腔體, 更便捷的真空系統(tǒng)監(jiān)測(cè)方案, 適用于 OEM 集成.
SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)基本規(guī)格
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測(cè)量原理 |
SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子技術(shù) |
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測(cè)量范圍 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %; |
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長(zhǎng)期穩(wěn)定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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接液材料管/球 |
不銹鋼 |
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安裝方式 |
水平 |
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模擬接口 |
USB Type C, 藍(lán)牙, 15pin |
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數(shù)字接口 |
USB, 藍(lán)牙, RS 232, RS 485 |
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反應(yīng)時(shí)間（快速模式） |
1 秒 |
上海伯東 SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)是一種基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子壓力表技術(shù)的新型過程壓力計(jì). 與其他真空測(cè)量（熱陰極或冷陰極, 電容式壓力傳感器）相比, SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)精度高, 耐腐蝕, 長(zhǎng)期穩(wěn)定, 不影響以任何方式測(cè)量的壓力信號(hào)（無溫度輸入 / 電離 / 采集 / 漂移等）. 簡(jiǎn)單的幾何形狀和不銹鋼旋轉(zhuǎn)球, 通過電磁力平滑移動(dòng), 適用于各種高純度氣體工藝.
SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)適用于工藝中的連續(xù), 自動(dòng), 高真空測(cè)量, 并提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr: 傳感器, 測(cè)量頭和電子設(shè)備集成在一個(gè)緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測(cè)量頭可以與真空規(guī)分離用于烘烤
DosiTorr 擴(kuò)展: 測(cè)量頭和電子設(shè)備分離, 便于在空間受限的設(shè)備中安裝
DosiTorr 配置: 設(shè)計(jì)用于 1:1 離子規(guī)更換配置電接口(即插即用解決方案)
SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用
替代離子規(guī): 傳統(tǒng)電離式的真空規(guī)無法使用的情況
離子注入, 干法刻蝕
在線真空監(jiān)測(cè)
液氮, 液氦高純氣體存儲(chǔ)
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