ph-instruments 真空計主要應用場景
半導體制造: 離子注入, 干法刻蝕, 物理 / 化學氣相沉積, 脫氣腔體 (SRG 轉子規擅長氫氣氛圍監測, 抵抗工藝薄膜沉積.)
低溫真空領域: 低溫儲罐, 液氫輸送管路, 真空絕熱系統 (SRG 轉子規分體無源傳感器, 適配超低溫環境.)  
制藥真空凍干: Tri?Clover 衛生法蘭可選, 支持高溫滅菌, 長期穩定監測.
真空計校準系統: 計量級真空規, 用于對各類真空計傳感器 (包括電容薄膜規, 電離規, 電阻規, 熱偶規等）進行全量程, 高精度的計量檢定與校準.
科研高能物理, 離子束, 分子束裝置 (SRG 傳感器與電控單元遠距離分離, 屏蔽輻射與等離子干擾.)

SRG 磁懸浮轉子真空計,高精度的真空測量

計量級真空規, 高度準確和穩定的真空測量, 不僅僅定位為傳統真空計的替代品, SRG 磁懸浮轉子真空計能夠實現更嚴格的制程控制, 減少變異性

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