自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子刻蝕機. 刻蝕機配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵. 伯東公司超過 50年的離子束刻蝕市場經驗, 擁有龐大的安裝基礎和經過市場驗證的刻蝕技術!

IBE 離子束刻蝕機應用

4英寸, 6英寸, 8英寸干法, 納米級別材料的表面刻蝕, 刻蝕均勻性 ≤±5%

共 12 篇

閱讀數 : 12083

  1. 20IBE-C 離子束刻蝕機｜4寸硅襯底 Ti/Cu 雙層金屬10分鐘快速刻蝕工藝（MEMS 芯片刻蝕）

  2. 薄膜鈮酸鋰 TFLN 刻蝕解決方案：上海伯東日本 NS IBE 離子束刻蝕機滿足 1.6T / 3.2T 光芯片 80° 側壁準直度工藝要求

  3. IBE 離子束干法刻蝕機在精密光柵加工中的應用優勢

  4. 上海伯東離子束刻蝕機 20IBE-C 在 BAW/SAW 濾波器刻蝕中的應用

  5. IBE 離子束刻蝕機工作原理與性能特點

  6. Lift-off 剝離成形電子束設備

  7. IBE 離子束刻蝕機物理量傳感器 MEMS 刻蝕應用

  8. 鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜 IBE 離子束刻蝕

  9. IBE 離子束刻蝕機刻蝕材料和速率

  10. IBE 離子束刻蝕機刻蝕應用

  11. IBE 離子束刻蝕設備 MRAM 磁性存儲器干法刻蝕應用

  12. IBE 離子束刻蝕機應用優勢

想了解更多?