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類別 |
器件 |
刻蝕材料 |
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磁性材料 |
自旋電子: MR / AMR / GMR / TMR, MRAM, HDD |
Ni-Fe, Ni-Co, TiO2, BST, Co-Fe, Ta, Cu, Ni-Mo, SiO2 等等… |
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傳感器 MEMS |
鉑熱電阻, 流量計, 紅外傳感器, 壓電打印機頭等 |
PT, PZT, Au, Pt, W, Ta (electrode) 等等… |
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RF 射頻器件 |
射頻濾波器, GaAs / GaN HEMT 等 |
Au, Pt, Ti, Ru, Cr, LN (LiNbO3) 等 |
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光電子 |
激光二極管, 光電探測器, 薄膜分裝等 |
Au, Pt, Ti, TaN, GaN 等 |
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其他 |
探針卡, 薄膜片式電阻器, 氧化物, 超導等 |
NiCr, Cr, Cu, Pd, Ir, LuFe2O4, SrTiO4, MgOHfO2 等
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IBE 離子束刻蝕機應用優勢
1. 干法刻蝕, 物理蝕刻, 納米級別的刻蝕精度; 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀
2. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上,可以在低溫環境下蝕刻; 配置公轉自轉傳輸機構 ”Dry Chuck Planet ”, 使得樣品可以得到比較均勻平滑的表面. 刻蝕均勻性 ≤±5%
3. 幾乎滿足所有材料的刻蝕, IBE 可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料
4. 可選配德國 Pfeiffer 分子泵和旋片泵, 客制化設計, 超高自由度, 設計緊湊, 占地面積小
5. 支持批量多片刻蝕工藝
上海伯東離子束刻蝕機典型應用: 可根據客戶的要求進行定制. 離子束刻蝕作為干法蝕刻工藝中的微細加工被廣泛應用. 由于是不伴隨化學反應的物理蝕刻工藝, 因此不僅適用于Au, Pt, 磁性材料等難蝕刻材料的加工, 也適用于由多個金屬膜形成的多層膜蝕刻工藝.
1. MEMS 傳感器芯片刻蝕: PT, PZT, Au, Pt, W, Ta (electrode) 等等…
2. 光柵刻蝕: 薄膜鈮酸鋰（LN）光柵耦合器制備, 閃耀羅蘭光柵制作, AR 眼鏡斜光柵制備, GaN光柵制造
3. 磁性器件: Ni-Fe, Ni-Co, TiO2, BST, Co-Fe, Ta, Cu, Ni-Mo, SiO2 等等…
4. 自旋電子學: 選配終點檢測器, 可實現超薄磁性層刻蝕控制.
伯東公司超過 50年的離子刻蝕市場經驗, 擁有龐大的安裝基礎和經過市場驗證的刻蝕技術!
上海伯東 IBE 離子束刻蝕機可根據客戶的要求進行定制. 離子束刻蝕作為干法蝕刻工藝中的微細加工被廣泛應用. 由于是不伴隨化學反應的物理蝕刻工藝, 因此不僅適用于Au, Pt, 磁性材料等難蝕刻材料的加工, 也適用于由多個金屬膜形成的多層膜蝕刻工藝. 伯東公司超過 50年的離子刻蝕市場經驗, 擁有龐大的安裝基礎和經過市場驗證的刻蝕技術!
自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套IBE離子束刻蝕機. 刻蝕機可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵.上海伯東也是美國 KRi 離子源中國總代理, KRi 離子源適用于各類真空設備, 實現離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 和離子束拋光 IBF 等工藝.
若您需要進一步的了解 NS 離子束刻蝕機詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權所有, 翻拷必究！
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