類型

系類

型號

氮氣抽速 l/s

最大極限真空 hPa

氮氣壓縮比

轉速 rpm ± 2 %

渦輪分子泵

HiPace@

HiPace 60

64

＜ 5X10^-10

 1X10⁶

90,000

HiPace 80

67

＜ 5X10^-10

1X10¹¹

90,000

HiPace 300

260

＜ 5X10^-10

1X10¹¹

60,000

HiPace 350

300

＜ 5X10^-10

1X10¹¹

60,000

HiPace 450

380

＜ 5X10^-10

1X10¹¹

60,000

HiPace 700

685

＜ 5X10^-10

1X10¹¹

49,200

HiPace 800

790

＜ 5X10^-10

1X10¹¹

49,200

HiPace 1200

1,250

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

HiPace 1500

1,400

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

HiPace 1800

1,450

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

HiPace 2300

1,900

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

渦輪分子泵
激光動平衡技術

HiPace@ Neo

HiPace 10 Neo

12

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

HiPace 30 Neo

32

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

HiPace 80 Neo

67

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

分流式分子泵

SplitFlow™

SplitFlow™ 50

35

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

全磁浮分子泵
Holweck 級

ATH

ATH 500 M

350

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

ATH 1600 M

1,360

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

ATH 2300 M

2,150

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

ATH 2804 M

2,350

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

ATH 3204 M

2,800

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

全磁浮分子泵
無 Holweck 級

ATP

ATP 1603 M

1,400

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200

ATP 2300 M

2,050

＜ 5X10^-10

1X10⁸

49,200