憑借磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)免維護(hù), 低噪音, 低振動
Pfeiffer 普發(fā)全磁浮分子泵專為半導(dǎo)體制造, 工業(yè)應(yīng)用和研發(fā)等嚴(yán)苛應(yīng)用設(shè)計, 其工作原理基于高速轉(zhuǎn)子技術(shù), 通過電磁作用結(jié)合精密電子控制系統(tǒng), 使轉(zhuǎn)子懸浮旋轉(zhuǎn), 避免與泵體接觸. 這種非接觸式運(yùn)轉(zhuǎn)消除了摩擦, 不僅可以防止渦輪分子泵的部件磨損, 還實(shí)現(xiàn)了免維護(hù), 同時降低了運(yùn)行噪音和振動水平. 這使得全磁浮分子泵 ATH-M 和 ATP-M 特別適用于對振動敏感的半導(dǎo)體制造等應(yīng)用.

此外, 當(dāng)電力中斷時, 泵體旋轉(zhuǎn)動能轉(zhuǎn)化的電能可為磁懸浮軸承持續(xù)供電, 確保斷電情況下仍能穩(wěn)定運(yùn)行數(shù)分鐘.

運(yùn)行成本更低
Pfeiffer 普發(fā)全磁浮分子泵采用變頻直流 DC 電機(jī)驅(qū)動轉(zhuǎn)子. 通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速匹配目標(biāo)真空度, 從而節(jié)省能源和成本. 在最新一代的 ATH-M 和 ATP-M 系列渦輪分子泵中, 驅(qū)動裝置集成于泵體內(nèi)部, 確保了設(shè)備占用空間小.

部分 ATH-M 型號還配備集成式加熱系統(tǒng), 可在嚴(yán)苛的化學(xué)環(huán)境中保持真空泵的性能. 這一特性對于化學(xué)氣相沉積 CVD 等應(yīng)用至關(guān)重要, 能夠有效防止化學(xué)反應(yīng)副產(chǎn)物在真空系統(tǒng)內(nèi)部凝結(jié). 集成加熱功能可使泵體持續(xù)恒溫運(yùn)行, 降低了冷凝和殘留物堆積的風(fēng)險.
 

主要型號

全磁浮分子泵

技術(shù)參數(shù)

類型

系類

型號

氮?dú)獬樗?l/s

最大極限真空 hPa

氮?dú)鈮嚎s比

轉(zhuǎn)速 rpm ± 2 %

全磁浮分子泵
Holweck 級

ATH

ATH 500 M

350

＜ 5X10-10

1X108

49,200

ATH 1600 M

1,360

＜ 5X10-10

1X108

49,200

ATH 2300 M

2,150

＜ 5X10-10

1X108

49,200

ATH 2804 M

2,350

＜ 5X10-10

1X108

49,200

ATH 3204 M

2,800

＜ 5X10-10

1X108

49,200

全磁浮分子泵
無 Holweck 級

ATP

ATP 1603 M

1,400

＜ 5X10-10

1X108

49,200

ATP 2300 M

2,050

＜ 5X10-10

1X108

49,200