上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)全磁浮渦輪分子泵 ATH 500 M,對氮氣的抽速最高可達 550 l/s,緊湊集成的全磁浮渦輪分子泵控制器。全磁浮渦輪分子泵可以安裝在任何方向。CE標志和通過無鉛認證。全磁浮渦輪分子泵核心科技是五軸控制全磁浮軸承,免維護,無需潤滑,保證全磁浮渦輪分子泵內(nèi)部清潔無油。全磁浮軸承保證了轉(zhuǎn)子的穩(wěn)定性,在高速運轉(zhuǎn)過程中無摩擦,無磨損,低噪音低振動,可延長分子泵的使用壽命。
Pfeiffer 普發(fā)?全磁浮渦輪分子泵 ATH 500 M 技術(shù)參數(shù):
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軸承 |
五軸控制全磁浮軸承 |
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轉(zhuǎn)速 |
50000 min-1 |
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對氮氣的壓縮比 |
> 2 · 107 |
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最大進氣壓力N2 |
2.6 hPa |
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對氮氣的抽速 |
350 l/s--550 l/s |
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啟動時間 |
< 2 min |
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極限真空度 |
< 1 · 10-8 hPa |
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重量 |
17 kg-18kg |