上海伯東代理普發(fā) Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600 MT, 使用 Pfeiffer Holweck 級(jí) 5 軸磁懸浮技術(shù), ATH 1600 MT 對(duì)氮?dú)獾某樗僮罡呖蛇_(dá) 1360 l/s, 水冷, 可加熱抗腐蝕, 可以安裝在任何方向.
磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600 MT 多種配置可選 滿(mǎn)足不同需要
1. 兩種接口:DN 200/250
2. 兩種密封方式:ISO-F/CF-F
3. 另有可遠(yuǎn)程控制款供客戶(hù)選擇
全磁浮渦輪分子泵 ATH 1600 MT 技術(shù)參數(shù):
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軸承 |
五軸控制全磁浮軸承 |
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轉(zhuǎn)速 |
39000 min-1 |
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對(duì)氮?dú)獾膲嚎s比 |
> 1 · 10 8 |
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最大進(jìn)氣壓力N2 |
2.2 hPa |
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對(duì)氮?dú)獾某樗?/span> |
1360 l/s--1600 l/s |
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啟動(dòng)時(shí)間 |
< 6 min |
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極限真空度 |
< 6 · 10-9 hPa |
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重量 |
34 (分子泵) + 8(分子泵電源控制器) kg |