上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)中國代理. 全磁浮渦輪分子泵 ATH 2300 M, 對氮氣的抽速最高可達 2150 l/s, 極限真空 < 6X10-9 hPa, 集成分子泵控制器 OBC 或外部 Magpower 控制器. 全磁浮渦輪分子泵核心科技是 Holweck 五軸控制全磁浮軸承, 免維護, 無需潤滑, 保證
Pfeiffer 普發(fā)全磁浮渦輪分子泵 ATH 2300 M 技術(shù)參數(shù)：
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分子泵型號 |
進氣法蘭 |
抽速 |
控制器 |
極限真空 hPa |
壓縮比 N2 |
前級真空 N2 hPa |
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ATH 2300 MT |
DN 250 CF-F |
2150 |
Magpower |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.8 |
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DN 250 ISO-F |
2150 |
Magpower |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.8 |
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ATH 2303 M |
DN 250 CF-F |
2150 |
Magpower |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
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DN 250 ISO-F |
2150 |
Magpower |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
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ATH 2303 M |
DN 250 CF-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
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DN 250 ISO-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
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ATH 2303 M |
DN 250 CF-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
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DN 250 ISO-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
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ATH 2303 M |
DN 250 CF-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
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DN 250 ISO-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
* MT:可加熱
憑借磁懸浮軸承實現(xiàn)免維護, 低噪音, 低振動
上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)全磁浮分子泵專為半導體制造, 工業(yè)應(yīng)用和研發(fā)等嚴苛應(yīng)用設(shè)計, 其工作原理基于高速轉(zhuǎn)子技術(shù), 通過電磁作用結(jié)合精密電子控制系統(tǒng), 使轉(zhuǎn)子懸浮旋轉(zhuǎn), 避免與泵體接觸. 這種非接觸式運轉(zhuǎn)消除了摩擦, 不僅可以防止渦輪分子泵的部件磨損, 還實現(xiàn)了免維護, 同時降低了運行噪音和振動水平. 這使得全磁浮分子泵 ATH-M 和 ATP-M 特別適用于對振動敏感的半導體制造等應(yīng)用.
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