技術參數
上海伯東 SplitFlow 分流式分子泵, 設計緊湊,任意位置安裝運行, 實現更大的靈活性, 可與外部控制單元, 前級泵, 真空計和閥門實現無縫連接, 便于安裝和操作.
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分子泵型號 |
分子泵連接尺寸 DN |
抽速 l/s |
壓縮比 |
最高啟動壓強hPa |
極限壓力 |
全轉速氣體流量hPa l/s |
啟動時間 |
重量 |
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進氣口 |
排氣口 |
氮氣 |
氦氣He |
氫氣 H2 |
氮氣 |
氮氣N2 |
hPa |
氮氣N2 |
min |
kg |
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63 |
G1/4 |
53 |
27 |
21 |
> 1X108 |
20 |
< 4X10–7 |
1.8 |
1.3 |
2.3 |
|
|
63 |
16 |
67 |
58 |
> 1X108 |
21 |
< 4X10–7 |
1.7 |
3.8 |
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