結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證

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或直接聯(lián)絡(luò)客服: 139-1883-7267

渦輪分子泵 HiPace 80 抽速: 67 l/s

簡介

Pfeiffer 普發(fā)分子泵 HiPace 80 穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計和經(jīng)過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證

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技術(shù)規(guī)格

上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)中國代理. 銷售維修德國普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80 抽速可達到 71 l/s 高性能渦輪分子泵. HiPace 80 對所有氣體的高抽速和更高壓縮比使其廣泛應(yīng)用于真空行業(yè). 集成驅(qū)動電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過保護等級 IP54, 半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認證. 渦輪分子泵 HiPace 80 通過控制器監(jiān)控運算數(shù)據(jù)盡可能保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 80 可以任意位置安裝. 自然風(fēng)冷, 多種配件可選滿足廣泛應(yīng)用.

Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 80 技術(shù)參數(shù)

進氣口

 

DN 63

ISO-K

DN 63

CF-F

DN 40

ISO-KF

DN 63

ISO-K

DN 63

CF-F

DN 40

ISO-KF

圖片

 

 

 

 

 

 

 

分子泵控制器

型號

標配
TC 110

標配
TC 110

標配
TC 110

選配
TCP 350

選配
TCP 350

選配
TCP 350

抽速

Ar L/S

66

66

30

66

66

30

H2 L/S

48

48

38

48

48

38

He L/S

58

58

41

58

58

41

N2 L/S

67

67

35

67

67

35

壓縮比

Ar

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

H2

1.4X105

1.4X105

1.4X105

1.4X105

1.4X105

1.4X105

He

1.3X107

1.3X107

1.3X107

1.3X107

1.3X107

1.3X107

N2

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

全轉(zhuǎn)速時氣體流量

Ar hPa l/s

0.54

0.54

0.54

0.54

0.54

0.54

HhPa l/s

15.3

15.3

15.3

15.3

15.3

15.3

He hPa l/s

2.7

2.7

2.7

2.7

2.7

2.7

NhPa l/s

1.3

1.3

1.3

1.3

1.3

1.3

極限壓力

hPa

<1X10-7

<5X10-10

<1X10-7

<1x10-7

<5x10-10

<1x10-7

最大預(yù)抽真空

N2

22

22

22

22

22

22

電壓
± 5 %

VDC

24

24

24

24

24

24

最大電流

A

4.6

4.6

4.6

5.5

4.6

4.6

轉(zhuǎn)速± 2 %

RPM

90000

90000

90000

90000

90000

90000

聲噪

dB(A)

≤48

≤48

≤48

≤48

≤48

≤48

允許最大磁場

mT

3.3

3.3

3.3

3.3

3.3

3.3

啟動時間

min

1.7

1.7

1.7

3

3

3

重量

kg

2.4

3.8

2.4

2.1

3.5

2.1

* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環(huán)境中使用

Pfeiffer 普發(fā)?分子泵應(yīng)用 HiPace 80
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造
研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)

上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結(jié)構(gòu)和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應(yīng)用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統(tǒng), 確保低噪音和低振動運行. 此外,  渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質(zhì)氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導(dǎo)體制造和分析應(yīng)用提供更優(yōu)的解決方案.

若您需要進一步的了解 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 葉小姐                                                臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )              M: +886-939-653-958

現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
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