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HiPace 普發(fā)渦輪分子泵采用創(chuàng)新轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高氣體吞吐率。這些真空泵可提供混合軸承或磁懸浮軸承版本。

混合軸承型號(hào)在前級(jí)真空端使用陶瓷滾珠軸承，高真空端配備永磁軸承，確保設(shè)備堅(jiān)固可靠。在磁懸浮版本中，主動(dòng)磁懸浮軸承通過(guò)電磁體和距離傳感器的協(xié)同作用，使轉(zhuǎn)子懸浮并保持非接觸式旋轉(zhuǎn)，從而將磨損降至最低。

兩種軸承類(lèi)型均以經(jīng)久耐用和低維護(hù)需求為設(shè)計(jì)理念，確保真空泵的可靠性能。對(duì)于混合軸承型號(hào)，陶瓷滾珠軸承和工作液儲(chǔ)液罐可在現(xiàn)場(chǎng)于 30 分鐘內(nèi)完成更換，有效減少停機(jī)時(shí)間，提升生產(chǎn)效率。

Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 系列提供多種型號(hào)，滿(mǎn)足不同應(yīng)用需求，包括市場(chǎng)上最小的渦輪分子泵：HiPace 10 Neo。該型號(hào)采用機(jī)械軸承系統(tǒng)，配備油潤(rùn)滑陶瓷滾珠軸承，即使在快速移動(dòng)或振動(dòng)環(huán)境中也能保持穩(wěn)定運(yùn)行。其小巧的占地面積使其特別適合高度集成的分析儀器，例如質(zhì)譜分析、電子顯微鏡或便攜式系統(tǒng)等應(yīng)用。

HiPace 提供多款特殊型號(hào)，能夠適應(yīng)各類(lèi)工藝要求。例如，其中部分型號(hào)配備了創(chuàng)新的 Holweck 級(jí)聯(lián)裝置，對(duì)氫氣等極輕氣體具有出色的壓縮性能，這一特性在需要超高真空的工藝流程和科研應(yīng)用中至關(guān)重要。另有型號(hào)配備經(jīng) Kepla 涂層處理的轉(zhuǎn)子——該等離子體化學(xué)表面處理技術(shù)能夠提升耐腐蝕性，使其特別適用于涂層和半導(dǎo)體制造等嚴(yán)苛環(huán)境。

類(lèi)型	系類(lèi)	型號(hào)	氮?dú)獬樗?l/s	最大極限真空 hPa	氮?dú)鈮嚎s比	轉(zhuǎn)速 rpm ± 2 %
渦輪分子泵	HiPace@	HiPace 60	64	＜ 5X10^-10	1X10⁶	90,000
		HiPace 80	67	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	90,000
		HiPace 300	260	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 350	300	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 450	380	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 700	685	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	49,200
		HiPace 800	790	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	49,200
		HiPace 1200	1,250	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 1500	1,400	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 1800	1,450	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 2300	1,900	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
渦輪分子泵激光動(dòng)平衡技術(shù)	HiPace@ Neo	HiPace 10 Neo	12	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 30 Neo	32	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 80 Neo	67	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200

渦輪分子泵 HiPace 80 Neo

渦輪分子泵 HiPace 10 Neo

渦輪分子泵 HiPace 30 Neo

渦輪分子泵 HiPace 60P

渦輪分子泵 HiPace 80

渦輪分子泵 HiPace 300

渦輪分子泵 HiPace 350

渦輪分子泵 HiPace 450

渦輪分子泵 HiPace 700

渦輪分子泵 HiPace 800

渦輪分子泵 HiPace 1200

渦輪分子泵 HiPace 1500

渦輪分子泵 HiPace 1800

渦輪分子泵 HiPace 2300

渦輪分子泵 HiPace 2800 IT

渦輪分子泵 HiPace 400