高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應用要求
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)

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渦輪分子泵 HiPace 1500 抽速: 1400 l/s

簡介

Pfeiffer 普發(fā) HiPace 1500 分子泵對各種氣體的高抽吸能力
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應用要求
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)

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技術(shù)規(guī)格

上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)中國代理.銷售維修德國普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1500, 抽速可達 1450 l/s 的高性能渦輪分子泵. 對各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進入顆粒. 集成驅(qū)動電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過保護等級 IP54. 帶有氣體密封閥 24 V DC 的集成型氣體密封系統(tǒng).

Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 1500 技術(shù)參數(shù):

分子泵型號

接口 DN

抽速 l/s

壓縮比

最高啟動壓強mbar

極限壓力

全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s

啟動
時間

重量

進氣

排氣

氮氣
N2

氦氣He

氫氣 H2

氮氣
N2

氮氣N2

 hPa

氮氣N2

min

kg

HiPace 1500
Hipace 1500 C
Hipace 1500 U
Hipace 1500 UC

250

40

1,400

1,350

1,150

> 1X108

2

< 1X10–7

20

2.5

29 – 41

渦輪分子泵 Hipace 1500 C 系列:抗腐蝕設計,專為腐蝕性氣體應用環(huán)境而設計研發(fā)
渦輪分子泵 Hipace 1500 U 系列:可以倒裝

上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結(jié)構(gòu)和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統(tǒng), 確保低噪音和低振動運行. 此外,  渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質(zhì)氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導體制造和分析應用提供更優(yōu)的解決方案.

若您需要進一步的了解 Pfeiffer普發(fā)渦輪分子泵 HiPace詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式:
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應用案例