結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證

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渦輪分子泵 HiPace 700 抽速:685 l/s

簡介

HiPace 700 穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證

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技術規格

上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 700, 對氮氣抽速可達到 685 l/s, 緊湊設計, 低能耗的同時保證分子泵更高抽吸能力.
渦輪分子泵 HiPace 700 占地面積小, 任意位置安裝. 適用于工業環境-保護等級 IP 54, 通過半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過分子泵控制器監控運算數據, 集成風冷. 可選分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多種密封方式和配件供選擇, 上海伯東可協助客戶選型并提供完善的售后維修服務. 對標 Edwards STP 磁懸浮分子泵.

渦輪分子泵 HiPace 700 技術參數

進氣口

 

DN 160

ISO-K

DN 160

CF-F

DN 160

ISO-F

DN 160

ISO-K

DN 160

CF-F

DN 160

ISO-F

分子泵控制器

型號

標配
TC 400

標配
TC 400

標配
TC 400

選配
TCP 350

選配
TCP 350

選配
TCP 350

抽速

Ar L/S

665

665

665

665

665

665

H2 L/S

555

555

555

555

555

555

He L/S

655

655

655

655

655

655

N2 L/S

685

685

685

685

685

685

壓縮比

Ar

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

H2

4X105

4X105

4X105

4X105

4X105

4X105

He

3X107

3X107

3X107

3X107

3X107

3X107

N2

>1X1011

>1X1011

>1X1011

>1X1011

>1X1011

>1X1011

全轉速時氣體流量

Ar hPa l/s

3.5

3.5

3.5

1.5

1.5

1.5

H2 hPa l/s

>14

>14

>14

>8

>8

>8

He hPa l/s

20

20

20

5

5

5

N2 hPa l/s

6.5

6.5

6.5

3

3

3

極限壓力

hPa

<1X10-7

<5X10-10

<1X10-7

<1x10-7

<5x10-10

<1x10-7

最大預抽真空

NhPa

11

11

11

11

11

11

電壓
± 5 %

VDC

48

48

48

48

48

48

最大電流

A

8.4

8.4

8.4

8.75

8.75

8.75

轉速± 2 %

RPM

49200

49200

49200

49200

49200

49200

聲噪

dB(A)

≤50

≤50

≤50

≤50

≤50

≤50

允許最大磁場

mT

6

6

6

6

6

6

啟動時間

min

2

2

2

5.5

2.5

2.5

重量

kg

11.5

17.4

12.1

10.6

16.5

10.6

* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環境中使用
* P 系列: 耐粉塵
* PLUS 系列: 極微振動,雜散磁場低
* H 系列: 更高的壓縮比,尤其適用于輕質氣體

Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 700 套裝:
上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺 HiPace 700 分子泵主機和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應用, 可以安裝在所有情況下并輕松調試渦輪分子泵. 套裝內配置如下:

分子泵

分子泵電源與控制器連接線

風扇

OmniControl 400

接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m

 

 

 

 

接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m


渦輪分子泵應用 HiPace 700
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光學鍍膜, 硬質涂層
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管制造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生物技術
分析儀器: 質譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導體: 超高真空排氣臺, PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks

上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外,  渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導體制造和分析應用提供更優的解決方案.

若您需要進一步的了解 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 葉小姐                                                  臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )              M: +886-939-653-958

現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
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