上海伯東德國 Pfeiffer 適用于離子注入系統的渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT.
在離子注入系統中, 氫氣等小分子氣體的抽速非常重要, 此款渦輪分子泵精巧的轉子設計保證小分子氣體的更大抽速, 確保了針對離子注入工藝的適應性, 渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 針對氫氣抽速高達 2600 l / s, 是同級別分子泵中佼佼者.
渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能溫度管理系統, 減少泵系統內部的工藝冷凝和沉積, 該系統允許單獨設置溫度, 確保渦輪分子泵能夠適應工藝需求. 鍍鎳轉子確保泵本身耐用性.
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 技術參數
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法蘭（進氣端） |
DN 250 ISO-F |
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法蘭（出氣端） |
DN 40 ISO-KF |
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排氣連接 |
G 1/8“ |
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氮氣抽速 |
2,300 l/s |
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氬氣抽速 |
2,100 l/s |
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氦氣抽速 |
2,900 l/s |
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氫氣抽速 |
2,600 l/s |
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轉速 |
±2 % 27,300 rpm |
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運行時間 |
8.6 min |
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在全轉速情況下的氮氣氣流量 |
16 hPa l/s |
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在全轉速情況下的氬氣氣流量 |
11 hPa l/s |
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在全轉速情況下的氫氣氣流量 |
50 hPa l/s |
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在全轉速情況下的氦氣氣流量 |
24 hPa l/s |
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氮氣壓縮比 |
> 1X108 |
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氬氣壓縮比 |
> 1X108 |
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氦氣壓縮比 |
6X104 |
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氫氣壓縮比 |
4X103 |
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氮氣最大前級真空 |
0.8 hPa |
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根據 PNEUROP 的極限壓力 |
< 1X10-7 hPa |
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重量 |
62 kg |
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冷卻方法 |
水 |
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冷卻水耗量 |
100 l/h |
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冷卻水溫度 |
15 – 25 °C |
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接口 |
E74, RS-485 |
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最大允許磁場 |
3.4 mT |
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聲壓水平 |
< 50 dB(A) |
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 適用領域: 離子注入機, 苛刻工藝
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 在售型號
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型號 |
訂貨號 |
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HiPace 2800 IT |
PM P05 241 |
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HiPace 2800 IUT |
PM P05 246 |
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導體制造和分析應用提供更優的解決方案.
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