技術(shù)參數(shù)

HiCube Neo（臺式裝置）

HiCube Neo（立式裝置）

分子泵抽速范圍

80-300 l/s

80-800 l/s

前級泵抽速范圍

1-1.8 m³/h

6-70 m³/h

可選標(biāo)準(zhǔn)型號分子泵

HiPace 80, HiPace 300

HiPace 80, HiPace 300, HiPace 350, HiPace 400, HiPace 450, HiPace 700, HiPace 800

可選高壓縮比分子泵

HiPace 300 H

HiPace 300 H, HiPace 700 H, HiPace 800 H

可選隔膜泵

MVP 15-2, MVP 030-3

可選多級羅茨真空泵

ACP 15, ACP 28, ACP 40

可選渦旋真空泵

HiScroll 6, HiScroll 12, HiScroll 18

可選單級旋片泵

SmartVane 55, SmartVane 70

可選雙級泵

Duo 6 M, Duo 11 M, Duo 20 M

冷卻方式

風(fēng)冷 / 水冷

風(fēng)冷 / 水冷

輸入電壓

100–120/200–240 V AC (±10 %)，50/60 Hz

100–120/200–240 V AC (±10 %)，50/60 Hz

重量（約）

14.5-22.5 kg

65.5-104.0 kg