IBE 離子束刻蝕機主要研發應用
光柵刻蝕: 閃耀光柵, 斜齒光柵, 平行光柵等刻蝕 ( VR, AR 光學鏡片組件)
薄膜刻蝕: Pt, Au 涂層為主的功率器件
硅光刻蝕
MEMS 傳感器刻蝕
自旋電子研究

上海伯東 IBE 離子束刻蝕機典型客戶應用案例

應用	襯底材料	刻蝕材料
薄膜襯底 Thin Film Substrate (Submounts)	Al₂O₃	Ti / Pt / Au	電極 Electrode
薄膜襯底 Thin Film Substrate (Submounts)	Al₂O₃	TaN	電阻材料 Resistance Element
薄膜組件 Thin Film Submounts	Al₂O₃	Ti / Pt / Au	電極 Electrode
應變傳感器 Strain Sensor	Glass	NiCr	電阻材料 Resistance Element
紅外傳感器 Infrared Sensor	GaAs, GaN	Au, Pt, +α	電極 Electrode
磁傳感器 Magnetic Sensor (TMF Sensor)	Glass, Al₂O₃	Cu	線圈 Coil
		Ni-Mo	磁層 Magnetic Layer
		Au	電極 Electrode
射頻線圈 RF Coil	Al₂O₃	Cu	線圈 Coil
射頻線圈 RF Coil	Al₂O₃	TaN	Resistance Element
射頻器件 RF device	SiC	Au	電極 Electrode
鉑薄膜熱傳感器 Pt Thin Film Thermal Sensor	Al₂O₃	Pt	電阻材料 Resistance Element
LD, LED	GaN	GaN	LD
	GaAs	Ti / Pt / Au +α	電極 Electrode
	Si	Ti / Mo / Ti / Au	電極 Electrode
LN 調制器 LN Modulator	LN(LiNbO₃)	LiNbO₃ /SiOx	光波導 Optical Waveguide
MEMS	Si, LN, LT	LN etc..
硅光臺 Si optical bench	Si	Ti / Pt / Au	電極 Electrode
氣體傳感器 Gas Sensor	Si	Ta₂O₅, Pt	電極 Electrode
薄膜組件 Thin Film Submounts	AlN	Ti / Pt / Au	電極 Electrode

IBE 離子束刻蝕機

上海伯東 IBE 離子束刻蝕機可根據客戶的要求進行定制. 離子束刻蝕作為干法蝕刻工藝中的微細加工被廣泛應用. 由于是不伴隨化學反應的物理蝕刻工藝, 因此不僅適用于Au, Pt, 磁性材料等難蝕刻材料的加工, 也適用于由多個金屬膜形成的多層膜蝕刻工藝. 伯東公司超過 50年的離子刻蝕市場經驗, 擁有龐大的安裝基礎和經過市場驗證的刻蝕技術!

自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套IBE離子束刻蝕機. 刻蝕機可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵.上海伯東也是美國 KRi 離子源中國總代理, KRi 離子源適用于各類真空設備, 實現離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 和離子束拋光 IBF 等工藝.

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上海伯東: 葉小姐臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958

現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東葉小姐 1391-883-7267
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IBE 離子束刻蝕機刻蝕應用

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