對于“難去除”的材料比如貴金屬（如金和鉑）, 壓電材料（鋯鈦酸鉛 PZT ,  鈮酸鋰 LiNbO3 和 氮化鋁鈧 AlScN, 或用于 MRAM 和 STT-MRAM 的材料（如 Al 2 O 3 , Ni, Fe, Cr, Co, Cu, Mn 和 Pd 等）上海伯東 IBE 離子束刻蝕機同樣有著穩定的刻蝕均勻性.
IBE 離子束刻蝕機
上海伯東 IBE 離子束刻蝕機優勢
1. 滿足刻蝕的線條寬度要求
2. 滿足刻蝕準直度要求
3. 可以實現 ICP 和 RIE 無法進行的刻蝕
4. 離子束角度可以±90°任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀

IBE 離子束刻蝕機
IBE 離子束刻蝕機



IBE 離子束刻蝕機, 刻蝕材料和速率一覽表
IBE 離子束刻蝕機
 

上海伯東 IBE 離子束刻蝕機可根據客戶的要求進行定制. 離子束刻蝕作為干法蝕刻工藝中的微細加工被廣泛應用. 由于是不伴隨化學反應的物理蝕刻工藝, 因此不僅適用于Au, Pt, 磁性材料等難蝕刻材料的加工, 也適用于由多個金屬膜形成的多層膜蝕刻工藝. 伯東公司超過 50年的離子刻蝕市場經驗, 擁有龐大的安裝基礎和經過市場驗證的刻蝕技術!

自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套IBE離子束刻蝕機. 刻蝕機可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵.上海伯東也是美國 KRi 離子源中國總代理, KRi 離子源適用于各類真空設備, 實現離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 和離子束拋光 IBF 等工藝.

若您需要進一步的了解 NS 離子束刻蝕機詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐                                                  臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )               T: +886-3-567-9508 ext 161
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )               M: +886-939-653-958
qq: 2821409400 

現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
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IBE 離子束刻蝕機刻蝕材料和速率

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更新 : 2026-01-14

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