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ph-instruments ION Check 真空規校準系統適用于校準和比較高真空計. 結構緊湊, 設計包含無油高真空系統 Hicube 80, 氣體計量單元, 讀取和校準具有模擬輸出的真空表的硬件和軟件.

ION Check 真空規校準系統技術規格

測量原理	旋轉轉子壓力表
可調壓力范圍	5X10^-7 mbar 至 1X10^-2 mbar (最大 1 mbar) 4X10^-7 Torr 至 7 x 10^-3 Torr (最大 1 Torr)
精度	0.1 mbar 至 1 x 10^-6 mbar 讀數的 1% 0.07 Torr 至 7 x 10^-7 Torr 讀數的 1%
測量時間 SRG	3, 5, 10, 20, 30 秒
單次循環時間	< 1 秒
長期穩定性	< 每年 1% 漂移
DUT 數量	2個
接口	KF 25
高真空泵組	Hicube 80 Eco DN 63 CF-F
旁通泵	隔膜泵
數字接口	USB-C, 藍牙(可選), RS 232, RS 485, 網絡接口
軟件	Win10, ION Check APP
兼容插頭（包括電纜）	MKS/GP 354, MKS /GP 355, MKS 971B
通用插頭	CC/HC/皮拉尼, 帶 24 VDC 電源和 0-10 VDC 模擬輸出（可根據要求提供電纜）
校準氣體（可選）	N₂ （可根據要求提供）

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