上海伯東美國 HVA 三位真空閘閥21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業. HVA 三位真空閘閥與上游質量流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 也適用于從粗真空到高真空的平穩過渡.
HVA 三位真空閘閥 21700 系列采用兩個氣動電磁閥和一個氣壓調節器控制閥門的3種開啟方式: 完全打開,完全關閉以及一個可調節的中間位置.
美國 HVA 三位真空閘閥 21700 系列技術參數：
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閥門材質： |
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閥門主體 |
304 不銹鋼 |
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焊接波紋管軸封 |
AM-350 |
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驅動軸和驅動銷 |
硬質不繡鋼 |
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閥門密封方式： |
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高真空 |
氟橡膠 |
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漏率 |
<2×10-9 mbar l/s |
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差壓關閉 |
1 bar |
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真空： |
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壓力范圍 |
高真空1x10-9 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差壓關閉 |
1 bar (任意位置) |
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開啟前最大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）： |
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閥門主體 |
150 °c |
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驅動方式 |
氣動 60 °c |
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使用壽命：100,000啟閉次數 |
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公稱通徑：DN100-320 mm |
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