
HVA 高真空閘閥主要型號
|
|
|
|||||
|
HVA 不銹鋼真空閘閥, 真空插板閥 |
HVA 鋁制真空閘閥, 真空插板閥 |
HVA 三位不銹鋼真空閘閥, 真空插板閥 |
HVA 不銹鋼真空閘閥,真空插板閥 |
HVA 不銹鋼真空隔離閘閥 |
HVA 矩形閥 |
HVA 真空角閥 |
產品分類
相關產品應用案例
HVA 閘閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能, 廣泛用在氣體輸送環節 (氣體管路系統) , 起到真空隔離密封作用.
為了節省抽空時間和防止基片的污染,會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣,由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加 HVA高真空閘閥來隔離系統
應用于中國研制的亞洲粒子加速器系統 100MV,HVA 帶孔真空插板閥, 可根據客戶需求進行定制
美國 HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應用于半導體氣體管路中,滿足高真空 1E10-9 mabr 和超高真空 1E10-10 mbar 應用
HVA 真空插板閥(真空閥門)用于激光真空系統
E-Beam 電子束蒸發鍍膜機用于在半導體, 光學, 超導材料等行業的研究與生產, 比如基片蒸發沉積金屬, 導電薄膜, 半導體薄膜, 鐵電薄膜, 光學薄膜和介質材料.
應用于晶矽料生產設備中的 Load-lock 工位, 美國 HVA 矩形閥 88200 系列, 具有獨特的密封系統, 可避免粉塵顆粒污染, 有效減少了維護次數,