半導(dǎo)體管道插板閥應(yīng)用示意圖                                                                       現(xiàn)場(chǎng)圖

HVA 真空閥門(mén)

上海伯東美國(guó) HVA 插板閥優(yōu)勢(shì)
1. 滿足高真空（1E10-9  mabr）和超高真空（1E10-10 mbar）應(yīng)用
2. HVA 插板閥口徑 DN 16 至 800 mm
3. 堅(jiān)固耐用, 超長(zhǎng)使用壽命, 可達(dá) 1,000,000 啟動(dòng)次數(shù)
4. 清潔和高密封性保證 HVA 插板閥與前級(jí)泵, 渦輪分子泵等完美聯(lián)用
5. 雙向密封,最小漏率 < 2x10-9  mbar l/S
6. 可選擇驅(qū)動(dòng)方式多, 手, 氣,電動(dòng)可選
7. 有效保護(hù)分子泵. 氣動(dòng)和電動(dòng)插板閥均帶信號(hào)反饋裝置, 與分子泵和腔體連用時(shí)可以起到截?cái)嘁恍┨厥鈿怏w, 保護(hù)分子泵的作用
8. 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用
9. 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn), 插板閥整機(jī)美國(guó)設(shè)計(jì), 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口

美國(guó) HVA 超過(guò) 40年的閥門(mén)研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn), 與友廠對(duì)比, HVA 插板閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能.

上海伯東美國(guó) HVA 高真空和超高真空閥門(mén)中國(guó)總代理! HVA 是美國(guó)最大真空閥門(mén)制造商, 在美國(guó)有超過(guò)四十年的歷史, 擁有 6萬(wàn)平方英尺的全自動(dòng)無(wú)人加工工廠, HVA 提供高質(zhì)量, 準(zhǔn)確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無(wú)論是生產(chǎn)線升級(jí), 還是新設(shè)備制造, HVA 都能提供經(jīng)濟(jì)有效的真空閥門(mén)解決方案, 其中超高真空閘閥現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路和各類(lèi)真空設(shè)備中！與友廠閥門(mén)對(duì)比, HVA 真空閘閥常規(guī)保養(yǎng)只需更換密封圈, 維護(hù)更加方便迅速！

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上海伯東美國(guó) HVA 真空插板閥應(yīng)用于半導(dǎo)體管道中

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更新 : 2026-02-06

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