上海伯東美國 HVA 不銹鋼真空層流閘閥 13000系列具有層流流口孔徑, 能有效將閥體與氣流隔開. 為了提供更全面的保護,在閥體上部和下部都有安裝凈化清洗流道以使惰性氣體流入來防止工藝氣體進入這些區(qū)域. HVA 不銹鋼真空層流閘閥 13000系列另一個特點是有一個正面的關閉裝置使這個真空閘閥可以保持密封的完整性, 甚至在遇到動力隨著壓力下降而損失的時候.
HVA 不銹鋼真空層流閘閥 13000系列廣泛應用于半導體領域,比如刻蝕, 化學氣相沉積以及任何使用高腐蝕性氣體的工藝中
HVA 不銹鋼真空層流閘閥 13000 系列
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連接形式： |
標準或定制法蘭 |
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主體材料： |
不銹鋼 |
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公稱通徑： |
DN40-DN300 mm |
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漏率: |
2x10E-10 AtmCC/Sec |
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壓力范圍: |
1x10E-9 Torr |
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烘烤溫度: |
《200℃ |
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適用介質(zhì)： |
水、蒸汽、空氣、高腐蝕氣體 |
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密封形式： |
軟密封型 |
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驅(qū)動方式： |
氣動 |
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使用壽命: |
視系統(tǒng)而定 |
HVA 不銹鋼真空層流閘閥 13000系列: 兩個分開的支架可以實現(xiàn)100%電導（全開）或者0%電導（全關）. 在打開的位置,一個流孔從流動路程和所有內(nèi)部部件是隔離開的。這個孔口提供了一個通過發(fā)力的清潔的連續(xù)的流動路程并且減少了和任何一個閥體裝置的工業(yè)廢氣接觸. 關閉位置使用一個傳統(tǒng)的密封膠圈以產(chǎn)生1x10E-9Torr的真空密封. 線性驅(qū)動允許使用焊接波紋管來密封驅(qū)動器并且減少旋轉(zhuǎn)密封圈的必要性。獨特的氣缸設計使沖擊和振動減少到最小. 此設計非常有益于半導體制造和其他敏感加工工業(yè)要求操作時相對自由振動的.
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