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HVA 矩形閥 28200 系列 DN32*222-DN100*1250 mm

簡介

HVA 不銹鋼矩形閥 28200 系列 幾乎沒有微粒產(chǎn)生
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技術(shù)規(guī)格

HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)最小的內(nèi)部表面區(qū)域. 閥體和所有主要內(nèi)部部件在 1100 ℃的真空爐中焊接的, 確保了最大的完整性. 這就消除了虛漏和缺陷部分, 使在常規(guī)狀態(tài)下焊接出現(xiàn)的閥體變形的可能最小化了. 爐內(nèi)釬焊的304不銹鋼減少了漏氣, 這就使系統(tǒng)在較短的時間里獲得基礎(chǔ)壓力. 在開啟位置, 密封墊O型圈完全看不見, 防止了任何微粒或者介質(zhì)累加到該密封面。在關(guān)閉位置, 一個堅固的整體設(shè)計阻止了任何材料累積到閥動裝置后面, 這樣極大的減少了維修和維護的需求. 這些真空閘閥設(shè)計專門改造以滿足機械接口和真空密封要求的產(chǎn)業(yè).

這款 28200 系列真空閘閥真空閥門/界面的設(shè)計融合了直接驅(qū)動的閘極. 直接驅(qū)動消除了機械聯(lián)動裝置并極大的減少了內(nèi)部閥門配件使用. 真空閘閥閘板閥設(shè)計的明顯改善導致了超常的不停機工作時間周期和極低的微粒再生, 甚至是在使用了一百萬周期后。真空閘閥閥門已經(jīng)被測試了1000000周期, 沒有失敗. 在操作方面, 這款 28200 系列閥門真空閘閥非常安靜和可靠. 因為他們以更低的壓力密封, 更耐用, 并且需要一個完美密封的壓力更小. 為了滿足模塊化集成加工系統(tǒng)一些特殊需求, HVA 真空閥門真空閘閥專為在閥口另外一邊隔離真空壓強.

HVA 28200 系列半矩形真空閘閥規(guī)格

連接形式:

標準或定制法蘭

主體材料:

不銹鋼

公稱通徑:

DN32*222-DN100*1250 mm

漏率:

2x10E-9 AtmCC/Sec

壓力范圍: 

1x10E-9 Torr

烘烤溫度:

《150℃

適用介質(zhì):

水、蒸汽、空氣

密封形式:

軟密封型

驅(qū)動方式:

氣動

使用壽命:

1000000+使用周期


上海伯東美國 HVA 高真空和超高真空閥門中國總代理! HVA 是美國最大真空閥門制造商, 在美國有超過四十年的歷史, 擁有 6萬平方英尺的全自動無人加工工廠, HVA 提供高質(zhì)量, 準確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無論是生產(chǎn)線升級, 還是新設(shè)備制造, HVA 都能提供經(jīng)濟有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥現(xiàn)已廣泛應用于半導體氣體管路和各類真空設(shè)備中!與友廠閥門對比, HVA 真空閘閥常規(guī)保養(yǎng)只需更換密封圈, 維護更加方便迅速!

若您需要進一步的了解  HVA 真空閥門詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 葉小姐                                                   臺灣伯東: 王小姐
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應用案例

上海伯東針對不同客戶, 提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發(fā)新的項目應用

HVA 矩形閥 88200 系列 Load-lock 典型應用
HVA 矩形閥 88200 系列 Load-lock 典型應用

應用于晶矽料生產(chǎn)設(shè)備中的 Load-lock 工位, 美國 HVA 矩形閥 88200 系列, 具有獨特的密封系統(tǒng), 可避免粉塵顆粒污染, 有效減少了維護次數(shù),

美國 HVA 真空閥門應用于粒子加速器系統(tǒng)
美國 HVA 真空閥門應用于粒子加速器系統(tǒng)

應用于中國研制的亞洲粒子加速器系統(tǒng) 100MV,HVA 帶孔真空插板閥, 可根據(jù)客戶需求進行定制

HVA 真空插板閥(真空閥門)用于激光真空系統(tǒng)
HVA 真空插板閥(真空閥門)用于激光真空系統(tǒng)

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HVA 真空閘閥 11000 系列應用于 OLED 鍍膜機
HVA 真空閘閥 11000 系列應用于 OLED 鍍膜機

為了節(jié)省抽空時間和防止基片的污染,會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣,由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加 HVA高真空閘閥來隔離系統(tǒng)

HVA 高真空閘閥 11000 系列 應用于 E-Beam 鍍膜機
HVA 高真空閘閥 11000 系列 應用于 E-Beam 鍍膜機

E-Beam 電子束蒸發(fā)鍍膜機用于在半導體, 光學, 超導材料等行業(yè)的研究與生產(chǎn), 比如基片蒸發(fā)沉積金屬, 導電薄膜, 半導體薄膜, 鐵電薄膜, 光學薄膜和介質(zhì)材料.

HVA 真空閘閥在氣體管路系統(tǒng)應用
HVA 真空閘閥在氣體管路系統(tǒng)應用

HVA 閘閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能, 廣泛用在氣體輸送環(huán)節(jié) (氣體管路系統(tǒng)) , 起到真空隔離密封作用.

上海伯東美國 HVA 真空插板閥應用于半導體管道中
上海伯東美國 HVA 真空插板閥應用于半導體管道中

美國 HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應用于半導體氣體管路中,滿足高真空 1E10-9 mabr 和超高真空 1E10-10 mbar 應用

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