上海伯東美國(guó) HVA 不銹鋼百萬(wàn)周期真空閘閥 21200 系列特別適合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤溫度不超過(guò) 150°C的應(yīng)用. 閥門真空腔內(nèi)沒(méi)有機(jī)械鎖, 這對(duì)于需要無(wú)振動(dòng)運(yùn)行的半導(dǎo)體及精密工藝而言極為有利. HVA 21200 系列閘閥所有活動(dòng)部件都配有硬化軸, 可以減少顆粒物的產(chǎn)生, 并使動(dòng)作更加順暢.
HVA 不銹鋼百萬(wàn)周期真空閘閥 21200 系列超長(zhǎng)使用壽命 1,000,000 啟動(dòng)次數(shù), 清潔和高密封性保證 HVA 閘閥適用于低溫泵, 渦輪分子泵, 離子泵以及其他需要清潔, 高循環(huán)次數(shù), 低放氣量的閥門應(yīng)用.
HVA 不銹鋼百萬(wàn)周期真空閘閥 21200 系列特點(diǎn)
直線驅(qū)動(dòng)允許使用焊接波紋管來(lái)密封驅(qū)動(dòng)器. 獨(dú)特的氣缸設(shè)計(jì)使沖擊和振動(dòng)減少到更小.閥門真空腔內(nèi)沒(méi)有機(jī)械鎖, 因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動(dòng)的敏感加工工業(yè). 所有移動(dòng)的接頭都有硬軸有效減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動(dòng)更容易.
HVA 不銹鋼百萬(wàn)周期真空閘閥 21200 系列技術(shù)參數(shù)
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閥門材質(zhì)： |
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閥門主體 |
304不銹鋼 |
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焊接波紋管軸封 |
AM-350 |
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驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)銷 |
硬質(zhì)不繡鋼 |
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密封件 |
氟橡膠 |
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真空： |
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壓力范圍 |
1x10-9 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差壓關(guān)閉 |
1 bar (任意位置) |
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開啟前最大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）： |
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佛橡膠密封 |
150 °c |
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驅(qū)動(dòng)方式 |
手動(dòng) 60 °c;氣動(dòng) 60 °c |
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使用壽命：1,000,000啟閉次數(shù) |
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公稱通徑：DN16-320 mm |
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