一般科研用鍍膜機(jī)的基片尺寸在 4”和6”大小, 本底真空度要求達(dá)到 5*10-7mbar 或 5*10-8mbar, 這時(shí)需要配置分子泵系統(tǒng)或低溫泵系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)高真空度的需求, 所以對(duì)于生產(chǎn) OLED 鍍膜機(jī)的客戶(hù), 為了節(jié)省抽空時(shí)間和防止基片的污染, 會(huì)選擇在 LOADLOCK 與主腔間進(jìn)行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會(huì)在腔室之間增加高真空閥門(mén)來(lái)隔離系統(tǒng).

有時(shí)科研設(shè)備并不配置 LOADLOCK, 但出于泵組快速抽空或方便檢修要求, 還是會(huì)根據(jù)分子泵的進(jìn)氣口徑來(lái)配置高真空閥門(mén)隔離系統(tǒng). 上海伯東美國(guó) HVA 真空閥門(mén)已廣泛應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)
HVA 高真空閘閥應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)

上圖是某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置上海伯東美國(guó) HVA 高真空閘閥 11000 系列, 我司根據(jù)鍍膜系統(tǒng)的自動(dòng)化要求, 配置 HVA 11000 系列尺寸以 4”, 6”, 8”閥門(mén)口徑為主的標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼氣動(dòng)高真空閘閥,
 

上海伯東美國(guó) HVA 高真空閘閥 11000 系列產(chǎn)品

 閥門(mén)材質(zhì):

 - 閥門(mén)主體

 304 不銹鋼

 - 焊接波紋管軸封

 AM - 350

 閥門(mén)密封方式

 - 高真空

 氟橡膠

 - 超高真空

 銅墊圈 / 氟橡膠

 真空:

 - 壓力范圍

 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差壓關(guān)閉

 1 bar ( 任意位置 )

 - 開(kāi)啟前最大壓力

 ≤ 30 mbar

 烘烤溫度（不含電磁閥）:

 - 佛橡膠密封

 150 °c, 可選配置最大 250 °c

 - 銅墊圈密封

 閥門(mén)關(guān)閉 200 °c, 閥門(mén)打開(kāi) 150 °c

 - 驅(qū)動(dòng)方式

 手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c

 - 氣體

 80 psig (5.5 bar)

 - 電磁

 4.0 Watts

 - 供電

 120 VAC 50 /60 Hz

 - 可選電壓

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 - 位置指示器,最大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

 使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)

 公稱(chēng)通徑: DN 16 - 800 mm


上海伯東美國(guó) HVA 高真空和超高真空閥門(mén)中國(guó)總代理! HVA 是美國(guó)最大真空閥門(mén)制造商, 在美國(guó)有超過(guò)四十年的歷史, 擁有 6萬(wàn)平方英尺的全自動(dòng)無(wú)人加工工廠, HVA 提供高質(zhì)量, 準(zhǔn)確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無(wú)論是生產(chǎn)線升級(jí), 還是新設(shè)備制造, HVA 都能提供經(jīng)濟(jì)有效的真空閥門(mén)解決方案, 其中超高真空閘閥現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路和各類(lèi)真空設(shè)備中！與友廠閥門(mén)對(duì)比, HVA 真空閘閥常規(guī)保養(yǎng)只需更換密封圈, 維護(hù)更加方便迅速！

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更新 : 2026-01-16

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