上海伯東美國(guó) HVA 不銹鋼真空閘閥 真空插板閥 11000 系列, 手動(dòng),氣動(dòng)可選, 滿足高真空和超高真空應(yīng)用, 清潔和高密封性保證 HVA 真空閘閥 與前級(jí)泵, 渦輪分子泵完美聯(lián)用.
HVA 11000 系列標(biāo)準(zhǔn)法蘭包含 KF, ISO-F, ISO-K, ASA 和 JIS 型專為高真空應(yīng)用而設(shè)計(jì). 這些閘閥為低溫泵, 渦輪分子泵, 離子泵以及其他需要清潔, 低放氣率閥門的應(yīng)用提供了相應(yīng)的密封功能. 金屬密封的 CF 法蘭在壓力范圍約為 1×10-10 毫巴且需要 200°C 的高溫烘烤條件下, 能夠與超高壓系統(tǒng)兼容. 這些閥門還可以配置用于更高的溫度.
HVA 高真空閘閥 插板閥 11000 系列技術(shù)參數(shù)
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閥門材質(zhì): |
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- 閥門主體 |
304 不銹鋼 |
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- 焊接波紋管軸封 |
AM - 350 |
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閥門密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡膠 |
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- 超高真空 |
銅墊圈 / 氟橡膠 |
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真空: |
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- 壓力范圍 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差壓關(guān)閉 |
1 bar ( 任意位置 ) |
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- 開啟前最大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）: |
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- 氟橡膠密封 |
150 °c, 可選配置最大 250 °c |
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- 銅墊圈密封 |
閥門關(guān)閉 200 °c, 閥門打開 150 °c |
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- 驅(qū)動(dòng)方式 |
手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c |
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- 氣體 |
80 psig (5.5 bar) |
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- 電磁 |
4.0 Watts |
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- 供電 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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- 可選電壓 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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- 位置指示器,最大 |
115 VAC |
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使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定) |
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接口: DN 16 - 800 mm |
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美國(guó) HVA 11000 系列高真空閘閥有正面鎖定的中心裝置或一個(gè)軟封的氣動(dòng)閘（可選擇的) , 閥門保持關(guān)閉狀態(tài)以防空氣壓力損失, 11000 系列真空閘閥獨(dú)特的氣缸設(shè)計(jì)保證最低的沖擊和振動(dòng), 因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動(dòng)的敏感加工工業(yè). HVA 不銹鋼真空閘閥提供了業(yè)界最小的內(nèi)部接口. 閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的最大完整性,效消除了虛漏和缺陷部分, 閥體變形. 閥門手動(dòng), 三種驅(qū)動(dòng)方式可選, 或定制法蘭滿足不同應(yīng)用.
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