上海伯東美國(guó) HVA 矩形閥門(mén) 88200 系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的接口閥, 可靠使用壽命超過(guò)1百萬(wàn)次. HVA 矩形閥門(mén) 88200 系列專用于真空相關(guān)系統(tǒng), 起隔絕真空壓力的作用. HVA 矩形閥外形尺寸小, 設(shè)計(jì)緊湊, 可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過(guò)渡腔室 load-lock chamber 過(guò)渡腔室 load-lock chamber 與傳輸系統(tǒng)handling system, 傳輸系統(tǒng) handling system 與工藝腔室 process chamber 等等需要分隔真空壓力的地方.
HVA 矩形閥 88200 系列技術(shù)參數(shù)
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連接形式： |
標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭 |
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主體材料： |
鋁 |
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公稱通徑： |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
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漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
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壓力范圍: |
1x10E-9 Torr |
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烘烤溫度: |
《150℃ |
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適用介質(zhì)： |
水、蒸汽、空氣 |
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密封形式： |
軟密封型 |
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驅(qū)動(dòng)方式： |
氣動(dòng) |
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使用壽命: |
1000000 啟閉次數(shù) |
上海伯東美國(guó) HVA 高真空和超高真空閥門(mén)中國(guó)總代理! HVA 是美國(guó)最大真空閥門(mén)制造商, 在美國(guó)有超過(guò)四十年的歷史, 擁有 6萬(wàn)平方英尺的全自動(dòng)無(wú)人加工工廠, HVA 提供高質(zhì)量, 準(zhǔn)確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無(wú)論是生產(chǎn)線升級(jí), 還是新設(shè)備制造, HVA 都能提供經(jīng)濟(jì)有效的真空閥門(mén)解決方案, 其中超高真空閘閥現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路和各類真空設(shè)備中！與友廠閥門(mén)對(duì)比, HVA 真空閘閥常規(guī)保養(yǎng)只需更換密封圈, 維護(hù)更加方便迅速！
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