比同等口徑的不銹鋼閥門氫氣脫氣率低
適用壽命長: 400,000 啟閉次數(shù)
堅固的設(shè)計和低廉的成本使其具有極高的適用性.
滿足半導(dǎo)體, 太陽能, LED/平板顯示器, 涂層以及生物制藥等行業(yè)的系統(tǒng)集成設(shè)計要求

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HVA 鋁制高真空閘閥 81000 系列 口徑: DN 100-320 mm

簡介

HVA 鋁制真空閘閥 81000 系列, 閥門主體材質(zhì)鋁
比同等口徑的不銹鋼閥門氫氣脫氣率低
適用壽命長: 400,000 啟閉次數(shù)
堅固的設(shè)計和低廉的成本使其具有極高的適用性.
滿足半導(dǎo)體, 太陽能, LED/平板顯示器, 涂層以及生物制藥等行業(yè)的系統(tǒng)集成設(shè)計要求

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技術(shù)規(guī)格

上海伯東美國 HVA 鋁制真空閘閥 81000 系列, 閥門主體材質(zhì)鋁, 專為高真空應(yīng)用而設(shè)計,適用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤溫度不超過 150°C 的高真空應(yīng)用. HVA 鋁制真空閘閥 81000 系列滿足半導(dǎo)體, 太陽能, LED/平板顯示器, 涂層以及生物制藥等行業(yè)的系統(tǒng)集成設(shè)計要求, 堅固的設(shè)計和低廉的成本使其具有極高的適用性.

HVA 鋁制真空閘閥 81000 系列采用了精密加工的高強度鋁制外殼, 外殼由優(yōu)質(zhì)的 6061-T6 鑄鋼制成, 配有雙四環(huán)長壽命軸密封件以及高性能的聚醚醚酮部件

HVA 鋁制真空閘閥 81000 系列技術(shù)參數(shù):

閥門材質(zhì):

閥門主體

6061-T6鋁

軸封

[DN40-80] 鋁; [DN100-500] 304SS

支架

6061-T6/ PEEK

密封件

氟橡膠

閥門密封方式:

高真空

氟橡膠

漏率

<2×10-9 mbar l/s

差壓關(guān)閉

1 bar

真空:

壓力范圍

高真空1x10-7 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差壓關(guān)閉

1.6 bar (任意位置)

開啟前最大壓力

≤ 30 mbar

烘烤溫度(不含電磁閥):

閥門主體

120 °c

驅(qū)動方式

80 °c

使用壽命:400,000啟閉次數(shù)

公稱通徑:DN100-320 mm


上海伯東美國 HVA 高真空和超高真空閥門中國總代理! HVA 是美國最大真空閥門制造商, 在美國有超過四十年的歷史, 擁有 6萬平方英尺的全自動無人加工工廠, HVA 提供高質(zhì)量, 準(zhǔn)確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無論是生產(chǎn)線升級, 還是新設(shè)備制造, HVA 都能提供經(jīng)濟有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路和各類真空設(shè)備中!與友廠閥門對比, HVA 真空閘閥常規(guī)保養(yǎng)只需更換密封圈, 維護更加方便迅速!


若您需要進一步的了解  HVA 真空閥門詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
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應(yīng)用案例

上海伯東針對不同客戶, 提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發(fā)新的項目應(yīng)用

上海伯東美國 HVA 真空插板閥應(yīng)用于半導(dǎo)體管道中
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HVA 高真空閘閥 11000 系列 應(yīng)用于 E-Beam 鍍膜機
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E-Beam 電子束蒸發(fā)鍍膜機用于在半導(dǎo)體, 光學(xué), 超導(dǎo)材料等行業(yè)的研究與生產(chǎn), 比如基片蒸發(fā)沉積金屬, 導(dǎo)電薄膜, 半導(dǎo)體薄膜, 鐵電薄膜, 光學(xué)薄膜和介質(zhì)材料.

美國 HVA 真空閥門應(yīng)用于粒子加速器系統(tǒng)
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應(yīng)用于中國研制的亞洲粒子加速器系統(tǒng) 100MV,HVA 帶孔真空插板閥, 可根據(jù)客戶需求進行定制

HVA 真空插板閥(真空閥門)用于激光真空系統(tǒng)
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HVA 矩形閥 88200 系列 Load-lock 典型應(yīng)用
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應(yīng)用于晶矽料生產(chǎn)設(shè)備中的 Load-lock 工位, 美國 HVA 矩形閥 88200 系列, 具有獨特的密封系統(tǒng), 可避免粉塵顆粒污染, 有效減少了維護次數(shù),

HVA 真空閘閥 11000 系列應(yīng)用于 OLED 鍍膜機
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為了節(jié)省抽空時間和防止基片的污染,會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣,由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加 HVA高真空閘閥來隔離系統(tǒng)

HVA 真空閘閥在氣體管路系統(tǒng)應(yīng)用
HVA 真空閘閥在氣體管路系統(tǒng)應(yīng)用

HVA 閘閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能, 廣泛用在氣體輸送環(huán)節(jié) (氣體管路系統(tǒng)) , 起到真空隔離密封作用.