比同等口徑的不銹鋼閥門氫氣脫氣率低
適用壽命長(zhǎng): 400,000 啟閉次數(shù)
堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和低廉的成本使其具有極高的適用性.
滿足半導(dǎo)體, 太陽(yáng)能, LED/平板顯示器, 涂層以及生物制藥等行業(yè)的系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)要求

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HVA 鋁制高真空閘閥 81000 系列 口徑: DN 100-320 mm

簡(jiǎn)介

HVA 鋁制真空閘閥 81000 系列, 閥門主體材質(zhì)鋁
比同等口徑的不銹鋼閥門氫氣脫氣率低
適用壽命長(zhǎng): 400,000 啟閉次數(shù)
堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和低廉的成本使其具有極高的適用性.
滿足半導(dǎo)體, 太陽(yáng)能, LED/平板顯示器, 涂層以及生物制藥等行業(yè)的系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)要求

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技術(shù)規(guī)格

上海伯東美國(guó) HVA 鋁制真空閘閥 81000 系列, 閥門主體材質(zhì)鋁, 專為高真空應(yīng)用而設(shè)計(jì),適用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤溫度不超過(guò) 150°C 的高真空應(yīng)用. HVA 鋁制真空閘閥 81000 系列滿足半導(dǎo)體, 太陽(yáng)能, LED/平板顯示器, 涂層以及生物制藥等行業(yè)的系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)要求, 堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和低廉的成本使其具有極高的適用性.

HVA 鋁制真空閘閥 81000 系列采用了精密加工的高強(qiáng)度鋁制外殼, 外殼由優(yōu)質(zhì)的 6061-T6 鑄鋼制成, 配有雙四環(huán)長(zhǎng)壽命軸密封件以及高性能的聚醚醚酮部件

HVA 鋁制真空閘閥 81000 系列技術(shù)參數(shù):

閥門材質(zhì):

閥門主體

6061-T6鋁

軸封

[DN40-80] 鋁; [DN100-500] 304SS

支架

6061-T6/ PEEK

密封件

氟橡膠

閥門密封方式:

高真空

氟橡膠

漏率

<2×10-9 mbar l/s

差壓關(guān)閉

1 bar

真空:

壓力范圍

高真空1x10-7 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差壓關(guān)閉

1.6 bar (任意位置)

開(kāi)啟前最大壓力

≤ 30 mbar

烘烤溫度(不含電磁閥):

閥門主體

120 °c

驅(qū)動(dòng)方式

80 °c

使用壽命:400,000啟閉次數(shù)

公稱通徑:DN100-320 mm


上海伯東美國(guó) HVA 高真空和超高真空閥門中國(guó)總代理! HVA 是美國(guó)最大真空閥門制造商, 在美國(guó)有超過(guò)四十年的歷史, 擁有 6萬(wàn)平方英尺的全自動(dòng)無(wú)人加工工廠, HVA 提供高質(zhì)量, 準(zhǔn)確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無(wú)論是生產(chǎn)線升級(jí), 還是新設(shè)備制造, HVA 都能提供經(jīng)濟(jì)有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路和各類真空設(shè)備中!與友廠閥門對(duì)比, HVA 真空閘閥常規(guī)保養(yǎng)只需更換密封圈, 維護(hù)更加方便迅速!


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現(xiàn)部分品牌誠(chéng)招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
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應(yīng)用案例

上海伯東針對(duì)不同客戶, 提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發(fā)新的項(xiàng)目應(yīng)用

上海伯東美國(guó) HVA 真空插板閥應(yīng)用于半導(dǎo)體管道中
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美國(guó) HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路中,滿足高真空 1E10-9 mabr 和超高真空 1E10-10 mbar 應(yīng)用

HVA 高真空閘閥 11000 系列 應(yīng)用于 E-Beam 鍍膜機(jī)
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E-Beam 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)用于在半導(dǎo)體, 光學(xué), 超導(dǎo)材料等行業(yè)的研究與生產(chǎn), 比如基片蒸發(fā)沉積金屬, 導(dǎo)電薄膜, 半導(dǎo)體薄膜, 鐵電薄膜, 光學(xué)薄膜和介質(zhì)材料.

HVA 真空閥門應(yīng)用于亞洲最大的粒子加速器系統(tǒng)
HVA 真空閥門應(yīng)用于亞洲最大的粒子加速器系統(tǒng)

應(yīng)用于中國(guó)研制的亞洲粒子加速器系統(tǒng) 100MV,HVA 帶孔真空插板閥, 可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制

HVA 真空插板閥(真空閥門)用于激光真空系統(tǒng)
HVA 真空插板閥(真空閥門)用于激光真空系統(tǒng)

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HVA 矩形閥 88200 系列 Load-lock 典型應(yīng)用
HVA 矩形閥 88200 系列 Load-lock 典型應(yīng)用

應(yīng)用于晶矽料生產(chǎn)設(shè)備中的 Load-lock 工位, 美國(guó) HVA 矩形閥 88200 系列, 具有獨(dú)特的密封系統(tǒng), 可避免粉塵顆粒污染, 有效減少了維護(hù)次數(shù),

HVA 真空閘閥 11000 系列應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)
HVA 真空閘閥 11000 系列應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)

為了節(jié)省抽空時(shí)間和防止基片的污染,會(huì)選擇在 LOADLOCK 與主腔間進(jìn)行快速傳樣,由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會(huì)在腔室之間增加 HVA高真空閘閥來(lái)隔離系統(tǒng)

HVA 真空閘閥在氣體管路系統(tǒng)應(yīng)用
HVA 真空閘閥在氣體管路系統(tǒng)應(yīng)用

HVA 閘閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能, 廣泛用在氣體輸送環(huán)節(jié) (氣體管路系統(tǒng)) , 起到真空隔離密封作用.