E-Beam 鍍膜機設備組成: 系統主要由蒸發室, 電子槍, 進樣室 (可選) , 旋轉基片加熱臺, 工作氣路, 抽氣系統, 真空測量, 電控系統及安裝機臺等部分組成.
基片在做實驗前一般需要做鍍前預處理, 鍍前預處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面, 為最后獲得高質量鍍層作準備, 要進行脫脂, 去銹蝕, 去灰塵等工作, 也有客戶在 LOADLOCK 腔進行射頻反應清洗, 通過使用上海伯東 KRi 離子源將基片的表層打掉, 得到更光滑和均勻的表面.

HVA 高真空閘閥應用
科研用鍍膜機的基片尺寸在 4”和6”大小, 本底真空度要求達到 5*10-7mbar或 5*10-8mbar, 通過使用高真空閥門對 LOADLOCK 與主腔間進行真空隔離, 一方面不會污染基片, 另一方面也使主腔更好的維持真空, 對于多腔室聯用的系統, 同腔室的隔離更為關鍵, 而且要保證閥門的足夠密封, 穩定可靠才行. 上海伯東是美國 HVA 真空閥門中國總代理.

HVA 高真空閘閥

上圖為美國 HVA 真空閘閥應用于某知名品牌 Sputtering + E-Beam  PVD 聯用系統, 閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時外系統停機時不破壞系統真空, 只要對泵內部進行破真空即可.

上海伯東美國 HVA 高真空閘閥 11000 系列產品
尺寸范圍: 0.625”-24”ID ( DN 16mm-DN 600mm)
接口類型: CF(英制) / ANSI / KF / ISO-F / CF(公制 )/ JIS / ISO-K多種接口可選
對于氣動規格, 電磁閥可選: 24VDC, 120VAC, 220VAC, 24VAC
HVA 真空閘閥 11000 系列

 

上海伯東美國 HVA 高真空和超高真空閥門中國總代理! HVA 是美國最大真空閥門制造商, 在美國有超過四十年的歷史, 擁有 6萬平方英尺的全自動無人加工工廠, HVA 提供高質量, 準確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無論是生產線升級, 還是新設備制造, HVA 都能提供經濟有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥現已廣泛應用于半導體氣體管路和各類真空設備中！與友廠閥門對比, HVA 真空閘閥常規保養只需更換密封圈, 維護更加方便迅速！

若您需要進一步的了解  HVA真空閥門詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐                                                  臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )               M: +886-939-653-958

現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
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更新 : 2026-01-16

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