一、HVA 真空插板閥在真空濺射爐中的應用優勢
真空濺射爐（磁控濺射鍍膜設備）是半導體, 光伏及光學薄膜制備的核心裝備, 其工藝要求在高真空（10??~10?? Pa）環境下進行. HVA 插板閥作為真空系統中的關鍵截斷元件, 主要負責腔體與泵組, 腔體與腔體之間的隔離與連通, 其性能直接決定系統的抽氣效率, 真空度保持能力及工藝穩定性.
HVA 11000 系列真空閘閥獨特的氣缸設計保證最低的沖擊和振動, 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業. 閥體和所有內部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的最大完整性,消除了虛漏和缺陷部分.
HVA 真空插板閥 11000 系列泄漏率 < 2x10-9 mbar l/S
壓力范圍: 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar
HVA 閥門主體和內部組件采用 304 不銹鋼材質,低放氣率
閥門口徑 DN 16 - 800 mm, 手動或氣動驅動
不繡鋼焊接波紋管, 標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
常規 200°c 最高 250 °c
堅固耐用, 達到設定的真空度時, 氣動閥門自動開閉, 有purge 接口
任意位置安裝
二、HVA 真空插板閥在真空濺射爐中的核心作用:
1. 腔體隔離與真空維持: 在濺射工藝進行或腔體保壓時, HVA 插板閥用于切斷主腔體與預抽室, 傳輸室或泵組的連接, 防止大氣回流或交叉污染m 維持各區段獨立的真空度.
2. 泵組保護與壓差調節: 安裝于主腔體與分子泵之間, 通過調節開度（部分電動調節閥）或全開/全閉控制氣流導通面積, 輔助穩定工作氣壓, 并在維護時隔離泵組免受腔體側粉塵或工藝氣體腐蝕
3. 氣鎖與連續生產（多室設備）: 在具備進/出料室的連續濺射生產線中，插板閥作為氣鎖閘門, 實現基板傳輸時的分段抽氣與隔離, 避免破壞主濺射室的超高真空環境
4. 安全互鎖與防倒灌: 當斷電或緊急停機時, 氣動/電動插板閥依靠彈簧復位或閉鎖機構快速關閉, 防止前級大氣瞬間倒灌擊穿腔體或污染靶材
上海伯東美國 HVA 高真空和超高真空閥門中國總代理! HVA 是美國最大真空閥門制造商, 在美國有超過四十年的歷史, 擁有 6萬平方英尺的全自動無人加工工廠, HVA 提供高質量, 準確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無論是生產線升級, 還是新設備制造, HVA 都能提供經濟有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥現已廣泛應用于半導體氣體管路和各類真空設備中！與友廠閥門對比, HVA 真空閘閥常規保養只需更換密封圈, 維護更加方便迅速！
若您需要進一步的了解 HVA 真空插板閥 詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權所有, 翻拷必究！
