適用于污染性強, 不允許出現(xiàn)頻繁的停機, 極其嚴苛的工藝環(huán)境
閥蓋盤單一的凈化清洗流動
標準尺寸1.5到14.0 英寸或者定制
標準氣動驅動, 可選擇的手動驅動
任意位置安裝

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HVA 不銹鋼真空隔離閘閥 16000 系列 配備有隨閘板移動的防護罩

簡介

HVA 16000 系列真空隔離閘閥配備有隨閘板移動的防護罩, 有效減少顆粒物的擴散
適用于污染性強, 不允許出現(xiàn)頻繁的停機, 極其嚴苛的工藝環(huán)境
閥蓋盤單一的凈化清洗流動
標準尺寸1.5到14.0 英寸或者定制
標準氣動驅動, 可選擇的手動驅動
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技術規(guī)格

上海伯東美國 HVA 不銹鋼真空隔離閘閥 16000 系列配備有隨閘板移動的防護罩, 可保護閘板免受顆粒污染損害. HVA 不銹鋼真空隔離閘閥 16000 系列適用于污染性強, 不允許出現(xiàn)頻繁的停機, 極其嚴苛的工藝環(huán)境. 配備的防護罩能有效減少顆粒物的擴散, 并延長閘板 O 型圈的密封性能.

HVA 16000 系列閥門主體材料為 304 不銹鋼, 可以更換成其他耐高溫和腐蝕性的材料來應用于異常侵蝕性的應用. 真空隔離閘閥橡膠 O 型圈也可以做替代.

HVA 不銹鋼真空隔離閘閥 16000 系列標準法蘭包括 CF-F 金屬密封法蘭用于超高真空, KF/ISO 橡膠密封法蘭可用于真空范圍. 其他工業(yè)法蘭或者定制法蘭可按照客戶要求定制.

美國 HVA 不銹鋼真空隔離閘閥 16000 系列 技術參數

閥門材質:

閥門主體

304不銹鋼

焊接波紋管軸封

AM-350

閥門密封方式:

高真空

氟橡膠

真空:

壓力范圍

高真空1x10-9 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差壓關閉

1 bar (任意位置)

開啟前最大壓力

≤ 30 mbar

烘烤溫度(不含電磁閥):

閥門主體

標準150 °c;定制 250 °c

驅動方式

氣動 60 °c;手動 60 °c

使用壽命:100,000啟閉次數

公稱通徑:DN40-320 mm

 

上海伯東美國 HVA 高真空和超高真空閥門中國總代理! HVA 是美國最大真空閥門制造商, 在美國有超過四十年的歷史, 擁有 6萬平方英尺的全自動無人加工工廠, HVA 提供高質量, 準確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無論是生產線升級, 還是新設備制造, HVA 都能提供經濟有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥現(xiàn)已廣泛應用于半導體氣體管路和各類真空設備中!與友廠閥門對比, HVA 真空閘閥常規(guī)保養(yǎng)只需更換密封圈, 維護更加方便迅速!

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上海伯東: 葉小姐                                                 臺灣伯東: 王小姐
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應用案例

上海伯東針對不同客戶, 提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發(fā)新的項目應用

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應用于晶矽料生產設備中的 Load-lock 工位, 美國 HVA 矩形閥 88200 系列, 具有獨特的密封系統(tǒng), 可避免粉塵顆粒污染, 有效減少了維護次數,

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為了節(jié)省抽空時間和防止基片的污染,會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣,由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加 HVA高真空閘閥來隔離系統(tǒng)

HVA 真空閘閥在氣體管路系統(tǒng)應用
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HVA 閘閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能, 廣泛用在氣體輸送環(huán)節(jié) (氣體管路系統(tǒng)) , 起到真空隔離密封作用.