上海伯東美國 HVA 不銹鋼真空層流閘閥 13000系列具有層流流口孔徑, 能有效將閥體與氣流隔開. 為了提供更全面的保護,在閥體上部和下部都有安裝凈化清洗流道以使惰性氣體流入來防止工藝氣體進入這些區域. HVA 不銹鋼真空層流閘閥 13000系列另一個特點是有一個正面的關閉裝置使這個真空閘閥可以保持密封的完整性, 甚至在遇到動力隨著壓力下降而損失的時候.
HVA 不銹鋼真空層流閘閥 13000系列廣泛應用于半導體領域,比如刻蝕, 化學氣相沉積以及任何使用高腐蝕性氣體的工藝中
HVA 不銹鋼真空層流閘閥 13000 系列
|
連接形式： |
標準或定制法蘭 |
|
主體材料： |
不銹鋼 |
|
公稱通徑： |
DN40-DN300 mm |
|
漏率: |
2x10E-10 AtmCC/Sec |
|
壓力范圍: |
1x10E-9 Torr |
|
烘烤溫度: |
《200℃ |
|
適用介質： |
水、蒸汽、空氣、高腐蝕氣體 |
|
密封形式： |
軟密封型 |
|
驅動方式： |
氣動 |
|
使用壽命: |
視系統而定 |
HVA 不銹鋼真空層流閘閥 13000系列: 兩個分開的支架可以實現100%電導（全開）或者0%電導（全關）. 在打開的位置,一個流孔從流動路程和所有內部部件是隔離開的。這個孔口提供了一個通過發力的清潔的連續的流動路程并且減少了和任何一個閥體裝置的工業廢氣接觸. 關閉位置使用一個傳統的密封膠圈以產生1x10E-9Torr的真空密封. 線性驅動允許使用焊接波紋管來密封驅動器并且減少旋轉密封圈的必要性。獨特的氣缸設計使沖擊和振動減少到最小. 此設計非常有益于半導體制造和其他敏感加工工業要求操作時相對自由振動的.
上海伯東美國 HVA 高真空和超高真空閥門中國總代理! HVA 是美國最大真空閥門制造商, 在美國有超過四十年的歷史, 擁有 6萬平方英尺的全自動無人加工工廠, HVA 提供高質量, 準確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無論是生產線升級, 還是新設備制造, HVA 都能提供經濟有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥現已廣泛應用于半導體氣體管路和各類真空設備中！與友廠閥門對比, HVA 真空閘閥常規保養只需更換密封圈, 維護更加方便迅速！
若您需要進一步的了解 HVA真空閥門詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權所有, 翻拷必究！
